[实用新型]一种金属有机物化学气相沉积设备的气体控制装置

摘要

本实用新型公开一种金属有机物化学气相沉积设备的气体控制装置，该装置主要包括质量流量控制器MFC-1、MFC2，压力控制器PC-1，隔膜阀CA-1、CA-2、CA-3、CA-4、CA-5，单向阀CV-1、CV-2，质量流量计MFM-1，H2供气管路(1)，N2供气管路(2)，NH3供气管路(3)，H2被控管路(4)，N2被控管路(5)，NH3被控管路(6)，M供气管路(7)。常规方法，金属有机物化学气相沉积设备在N2的入口处采用带质量流量计的压力控制器，但受零部件技术所限无法满足大流量的需求，这里采用压力控制器和质量流量计串联的方式，不仅解决了大流量的问题，还实现了供气管路(7)的压力和质量流量控制的灵活切换。为了保证H2管路和NH3管路不造成安全隐患，通过CV-1和CA-4的控制可以方便实现H2管路的N2吹扫；通过CV-2和CA-5的控制可以方便实现NH3管路的N2吹扫。

主权项

一种金属有机物化学气相沉积设备的气体控制装置，包括质量流量控制器MFC‑1、MFC2，压力控制器PC‑1，隔膜阀CA‑1、CA‑2、CA‑3、CA‑4、CA‑5，单向阀CV‑1、CV‑2，质量流量计MFM‑1，H2供气管路(1)，N2供气管路(2)，NH3供气管路(3)，H2被控管路(4)，N2被控管路(5)，NH3被控管路(6)，供气管路(7)，隔膜阀CA‑1、质量流量控制器MFC‑1组成H2控制管线，隔膜阀CA‑2、质量流量计MFM‑1、压力控制器PC‑1组成N2控制管线，隔膜阀CA‑3、质量流量控制器MFC‑2组成NH3控制管线，N2可以通过CV‑1、CA‑4进入H2管线，N2可以通过CV‑2、CA‑5进入NH3管线，根据控制目标调节后的H2、N2、NH3汇集形成供气管路(7)。