[实用新型]真空电引入装置有效
| 申请号： | 201020283318.2 | 申请日： | 2010-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN201785485U | 公开（公告）日： | 2011-04-06 |
| 发明（设计）人： | 黄一原;卢木森;张倧伟;谢礼谦 | 申请（专利权）人： | 凌嘉科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京泰吉知识产权代理有限公司 11355 | 代理人： | 张雅军;罗会英 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种真空电引入装置，用于安装在一个真空腔体，该真空腔体包括一个腔壁、一个真空侧及一个大气侧，该真空电引入装置包含一个活动单元及一个包括一个固设于该腔壁的导体的固定单元，该活动单元包括一个穿设于该腔壁的绝缘棒、一个位于该大气侧的驱动模组，及一个位于该真空侧且连接该绝缘棒的电极模组，通过独立运作的该活动单元以及提供导电的该导体，使该绝缘棒气密地活动并只于位于端部的电极模组处放电，进而避免因无效放电而产生积炭。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 引入 装置 | ||
【主权项】：
一种真空电引入装置，用于安装在一个真空腔体，该真空腔体包括一个腔壁、一个位于该腔壁内的真空侧，及一个位于该腔壁外的大气侧，其特征在于：该真空电引入装置包含一个活动单元及一个固定单元，该活动单元包括一个气密且活动地穿设于该腔壁的绝缘棒、一个位于该大气侧以驱动该绝缘棒的驱动模组，及一个位于该真空侧且连接该绝缘棒的电极模组，该固定单元包括一个气密地固设于该腔壁的导体，该导体具有一个位于该大气侧的入电端，及一个位于该真空侧并电连接该电极模组的供电端。
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