[实用新型]真空电引入装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种真空电引入装置，特别是涉及一种能够维持真空效果及避免因无效放电而产生积碳的真空电引入装置。

背景技术

现有一种真空电引入装置如中国台湾专利证书号码I 316969所示，安装于一个内部具有真空腔室的腔壁上，该真空电引入装置包括一个连接于该腔壁的基座、一个移动地穿设于该基座的活动导电棒，及一个连接并驱动该活动导电棒移动的驱动压缸，该活动导电棒具有一个位于该真空腔室内的供电端，及一个位于该腔壁外侧以电连接输入电流的入电端。

通过该活动导电棒朝该真空腔室内移动并自该入电端供应高频率的输入电流，能够使该供电端对位于该真空腔室内的待加工物产生电弧放电，进而对待加工物进行镀膜。

然而，该活动导电棒整体于导电时会产生热量，由于热胀冷缩的影响，会使该活动导电棒与该基座间产生微小的间隙，由于该活动导电棒同时还必须相对该基座移动，因此使得密封度大为降低，而使该真空腔体内无法保持足够的真空，进而影响镀膜的效果，此外，由于该活动导电棒位于该真空腔室内的表面皆会产生电弧放电，然而真正具有镀膜效果的放电位置只在接近待加工物的端部，使得端部以外的其他部位会因为无效的电弧放电而产生积碳，进而增加后续清理的麻烦以及相对应必须额外增加清洁成本。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种能够维持真空效果及避免因无效放电而产生积碳的真空电引入装置。

本实用新型真空电引入装置，用于安装在一个真空腔体，该真空腔体包括一个腔壁、一个位于该腔壁内的真空侧，及一个位于该腔壁外的大气侧，该真空电引入装置包含一个活动单元及一个固定单元。

该活动单元包括一个气密且活动地穿设于该腔壁的绝缘棒、一个位于该大气侧以驱动该绝缘棒的驱动模组，及一个位于该真空侧且连接该绝缘棒的电极模组，该固定单元包括一个气密地固设于该腔壁的导体，该导体具有一个位于该大气侧的入电端，及一个位于该真空侧并电连接该电极模组的供电端。

该电极模组具有一个连接该绝缘棒的固定件、一个间隔该固定件设置并电连接该供电端的放电件，及至少一个位于该固定件及该放电件间的连接件。

该电极模组还具有一个位于该放电件与所述连接件间的支撑件，该放电件具有一个连接于该支撑件的接触段，及两个分别自该接触段两相反端朝外延伸并连接于该固定件的弧段。

该电极模组还具有一个位于该放电件与该连接件间的支撑件，该支撑件具有一个位于相反该固定件的一侧且用以容置该放电件的凹槽。

该驱动模组具有一个固定架、一个固设于该固定架的压缸件、一个活动地设置于该压缸件并连接该绝缘棒的活塞杆件、一个平行该活塞杆件并固设于该固定架的导引杆件，及一个连接该绝缘棒并供该导引杆件穿过且随该活塞杆件移动而相对该导引杆件移动的导引块。

该活动单元还包括一个气密模组，该气密模组具有一个连接该腔壁及该驱动模组的固定架间并供该绝缘棒活动地穿设的基座、至少一个设置于该腔壁及该基座间的第一密封件，及至少一个设置于该基座与该绝缘棒间的第二密封件。

该固定单元还包括一个电连接该入电端且位于该大气侧的第一导电件、一个位于该真空侧并分别电连接该供电端及该电极模组的第二导电件，及一个位于该第一导电件及该第二导电件间并供该导体穿过的绝缘管。

该导体呈管状，还具有一个连通该大气侧并朝该供电端延伸的第一冷却流道，该真空电引入装置还包含一个气密地固设于该腔壁的冷却单元，该冷却单元具有一个自该大气侧朝该真空侧延伸的管体，及一个位于该管体内并于两相反端分别连通该大气侧及该第一冷却流道的第二冷却流道。

该管体具有一个自该大气侧延伸至该真空侧的第一冷却管，一个位于该真空侧并位于该第一冷却管及该供电端间的第二冷却管，及连接于该第二冷却管的两个相反端且分别连接该第一冷却管及该供电端的一个第一弯头及一个第二弯头，该第一冷却管、该第二冷却管及该第一弯头、该第二弯头共同围绕界定出该第二冷却流道。

该真空腔体还包括两个分别自该腔壁朝该大气侧延伸的第一接头，该真空电引入装置还包含两个分别气密地连接于所述第一接头的连接单元，每一连接单元分别具有一个位于该第一接头相反该真空侧的一侧的第二接头、一个连接于该第一接头及该第二接头间的第一防漏件、一个套设于该第一接头及该第二接头外侧并驱动该第一接头及该第二接头夹持该第一防漏件的第一锁固件、一个安装于该第二接头的第二锁固件，及一个连接于该第二接头及该第二锁固件间的第二防漏件，该导体及该第一冷却管分别穿过相对应的第一接头及连接单元。