[实用新型]一种快速热处理机台反射面板的清洁装置有效
| 申请号： | 201020266016.4 | 申请日： | 2010-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN201997505U | 公开（公告）日： | 2011-10-05 |
| 发明（设计）人： | 许鹖 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/04 | 分类号： | B08B1/04 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种快速热处理机台反射面板的清洁装置，反射面板由固定环固定在快速热处理机台上，该清洁装置包括外盘与内盘，外盘与固定环匹配，外盘通过外盘上的第一定位销固定在固定环上；内盘与反射面板匹配，内盘的表面包裹清洁布，内盘与外盘活动连接，内盘与外盘之间设有第二定位销。该清洁装置可以分别对反射面板和分布在反射面板上的探测头进行清洁工作，清洁的力度均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 快速 热处理 机台 反射 面板 清洁 装置 | ||
【主权项】：
一种快速热处理机台反射面板的清洁装置，所述反射面板由固定环固定在所述快速热处理机台上，所述清洁装置包括外盘与内盘，其特征在于，所述外盘与固定环匹配，所述外盘通过外盘上的第一定位销固定在固定环上；所述内盘与反射面板匹配，所述内盘的表面包裹清洁布，所述内盘与所述外盘活动连接，所述内盘与所述外盘之间设有第二定位销。
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