[实用新型]一种快速热处理机台反射面板的清洁装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种清洁装置，特别涉及一种针对快速热处理机台反射面板的清洁装置。

背景技术

快速热处理机台的探测头和反射面板用于探测腔室内晶圆表面的温度，采用光感原理对晶圆表面进行探测。快速热处理机台进行性能维护的时候，涉及对探针头和反射面板的清洗，通常使用含50％异丙醇的清洁布对反射面板的表面顺时针进行擦拭。探测头的位置处于反射面板的中间，由七个探测头组成分别检测晶圆的七个方位点，由于探测头表面是镶嵌在反射面板的表面，在擦拭反射面板表面的同时需要对探测头进行特别的擦拭，因为探测头的洁净与否关系到监测温度的准确性。

在进行清洗的过程，使用力度需要适中，过重容易造成反射面板划伤，过轻容易使反射面板表面清洁度不够。探测头的擦拭和反射面板是一样的，在擦拭反射面板的同时也对探测头进行清洗。但是探测头表面是水晶制成，容易存留污迹，所以在清洗过程中需要着重对待。另外，如果擦拭不均匀，容易使反射面板的表面造成污染，影响下次的温度测试结果。

实用新型内容

本实用新型是为解决反射面板表面以及探测头采用清洁布手动清洗引起力度把握不准和擦拭不均匀的缺陷，其目的在于提出一种快速热处理机台反射面板的清洁装置，反射面板由固定环固定在快速热处理机台上，该清洁装置包括外盘与内盘，该外盘与固定环匹配，该外盘通过外盘上的第一定位销固定在固定环上；内盘与反射面板匹配，内盘的表面包裹清洁布，内盘与外盘活动连接，内盘与外盘之间设有第二定位销。

优选地，该清洁布设有孔洞，清洁头穿过孔洞安置在该孔洞处，该清洁头的位置与反射面板上分布的探测头的位置对应。

优选地，该清洁头的大小规格比探测头大。

优选地，清洁布和清洁头的材料采用高分子吸水材料。

优选地，内盘内部的底盘上固定电机，该电机的转轴上安装有第一齿轮，该内盘内部还包括齿轮组，该齿轮组的输入端与第一齿轮衔接。

优选地，该齿轮组中的各个齿轮相互衔接，并且该齿轮组的输出端固定连接杆的一端，该连接杆的另一端安装清洁头。

优选地，第一定位销分布于外盘下端边缘。

优选地，该内盘与外盘通过轨道和滚珠活动连接。

优选地，远离反射面板的内盘表面安装有手柄，该手柄靠近内盘的边缘。

根据该快速热处理机台反射面板的清洁装置，旋转手柄带动内盘转动使安装在内盘表面的清洁布对反射面板的表面进行顺时针擦拭，力度把握均匀。

进一步地，该清洁装置的清洁布还安置清洁头，该清洁头的位置与反射面板上分布的探测头对应。发动电机带动齿轮使清洁头旋转起来，充分擦拭探测头的表面。

附图说明

参照附图阅读了本实用新型的具体实施方式以后，将会更清楚地了解本实用新型的各个方面。其中，

图1a为快速热处理机台反射面板的清洁装置俯视结构示意图；

图1b为快速热处理机台反射面板的清洁装置内部结构示意图；

图1c为快速热处理机台反射面板的清洁装置仰视结构示意图；

图2a为使用快速热处理机台反射面板的清洁装置进行性能维护前后的检测时间对比表格；以及

图2b为使用快速热处理机台反射面板的清洁装置进行性能维护前后的检测成功率对比表格。

具体实施方式

下面参照附图，对本实用新型的具体实施方式作进一步的详细描述。在整个描述中，相同的附图标记表示相同的部件。

本实用新型提供的快速热处理机台反射面板的清洁装置，该装置可以分别对反射面板和探测头进行清洁工作。既可以旋转手柄对反射面板的表面进行顺时针擦拭，同时可以由电机带动齿轮旋转清洁头，使清洁头充分擦拭探测头的表面。解决了反射面板表面以及探测头采用洁净布手动清洗引起力度把握不准和擦拭不均匀的缺陷。

该快速热处理机台反射面板由固定环固定在快速热处理机台上，图1a为快速热处理机台反射面板的清洁装置俯视结构示意图；图1b为快速热处理机台反射面板的清洁装置内部结构示意图；图1c为快速热处理机台反射面板的清洁装置仰视结构示意图。参照图1a，图1b以及图1c，该快速热处理机台反射面板的清洁装置100包括外盘101与内盘102，该外盘101与固定环匹配，该外盘101通过外盘101上的第一定位销107固定在固定环上；内盘102与反射面板匹配，内盘102的表面包裹清洁布，内盘102与外盘101活动连接，内盘102与外盘101之间设有第二定位销108。第一定位销107分布于外盘101下端边缘。