[实用新型]甩干式恒温烘箱

摘要

本实用新型涉及一种甩干式恒温烘箱，其烘箱箱体内设置有规格不同的甩干转盘，甩干转盘与电机主轴相连接，电机主轴与电机连接，电机与电机调速器连接；甩干转盘表面上设有真空抽气孔，真空抽气孔沿着转盘呈同心环状排列，所有的真空抽气孔均通过电机主轴与抽气管连通；烘箱箱体内设置了由石英加热管、热电偶及温控仪经线路连接组成的温控系统；可将清洗后的基板利用真空吸附的方法置于烘箱内的甩干转盘表面，通过带真空吸附转盘高速旋转的离心力将基板上的残留水滴甩干，再对烘箱的温度进行设定，将基板上吸附的水分子利用高温烘干；具有甩干效率高，吸附基板效果好，易于操作，性能稳定可靠，适用范围广的特点。

主权项

一种甩干式恒温烘箱，包括烘箱箱体(1)，石棉(2)，基板(3)，电机主轴(4)，电机(5)，电机调速器(6)，鼓风机(7)，万向轮(8)，通气孔(9)，烘干架(10)，散热窗(11)，石英加热管(12)，热电偶(13)，温控仪(14)，抽气管(15)，机械泵(16)，真空抽气孔(17)，环形平板圈(18)，转盘中心(19)，甩干转盘(A)；其特征在于：在烘箱箱体(1)内设置有规格不同的甩干转盘(A)，甩干转盘(A)与电机主轴(4)相连接，在甩干转盘(A)的表面上设有数个真空抽气孔(17)，其真空抽气孔(17)沿着转盘呈同心环状排列，并通过电机主轴(4)与抽气管(15)连通；电机主轴(4)与电机(5)连接，电机(5)与电机调速器(6)连接，抽气管(15)与机械泵(16)相连接；在烘箱箱体(1)内设置了由石英加热管(12)、热电偶(13)及温控仪(14)经线路连接组成的温控系统。