[实用新型]甩干式恒温烘箱

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种恒温烘箱装置，特别涉及一种利用先甩干加后烘干的方法，用于烘干各种形状大小不同基板的甩干式恒温烘箱。

背景技术

现有技术中，在物理和化学方法的镀膜过程中，均需用平整洁净的玻璃、硅片和PVC等作为基板；通常情况下，经清洗后的基板表面会附有残留水滴，主要是利用高温及其鼓风技术经高温蒸发直接烘干残留水滴及附着的水分。但是，传统的烘箱在烘干对洁净度要求很高的基板时，通过高温条件下水分蒸发后，水滴处会留有水渍，水渍中残留有污染物，这是传统的烘箱存在的主要缺陷；不仅使薄膜的纯度下降，而且致使后续镀膜的均匀性、附着力、平整度等较差，严重影响了镀膜的质量和使用寿命。

发明内容

本实用新型的目的在于克服现有技术中的不足，经设计改进提供一种将清洗后的基板利用真空吸附的方法置于烘箱内的甩干转盘表面，通过带真空吸附转盘高速旋转的离心力将基板上的残留水滴甩干，再对烘箱的温度进行设定，利用高温烘干基板上所吸附水分子的甩干式恒温烘箱。该装置可有效避免基板因残留水滴而直接高温烘干致使基板表面出现水渍的缺陷；具有吸附基板效果好，甩干效率高，易于操作，性能稳定可靠，扩展了使用范围的特点。

为实现所述目的，本实用新型采用了如下的技术方案：一种甩干式恒温烘箱，包括烘箱箱体，石棉，基板，电机主轴，电机，电机调速器，鼓风机，万向轮，通气孔，烘干架，散热窗，石英加热管，热电偶，温控仪，抽气管，机械泵，真空抽气孔，环形平板圈，甩干转盘；所述在烘箱箱体内设置有规格不同的甩干转盘，甩干转盘与电机主轴相连接，在甩干转盘的表面上设有数个真空抽气孔，其真空抽气孔沿着转盘呈同心环状排列，并通过电机主轴与抽气管连通；电机主轴与电机连接，电机与电机调速器连接；抽气管与机械泵相连接；在烘箱箱体内设置了由石英加热管、热电偶以及温控仪经线路连接组成的温控系统。

所述电机主轴为空心轴。

所述在甩干转盘上面设有若干个环形平板圈。

所述在烘箱箱体的上端设有通气孔。

所述在烘箱箱体内设有烘干架及其散热窗。

本实用新型与现有技术相比其优点是：

1、采用改进后的烘箱装置，可用于烘干各种规格或形状大小不同的基板，应用领域广泛；

2、经改进后的烘箱装置，可使基板表面干净无水渍，可有效保证基板的洁净度，为后续高质量镀膜工艺奠定了良好的基础；

3、该装置采用真空抽气孔的排列形成可根据带烘干的基板形状进行定制，以满足不同形状的基板吸附和甩干，扩展了使用范围；

4、该装置采用带真空吸附转盘，且甩干转盘转速可调的技术，具有吸附基板效果好，甩干效率高，易于操作，性能稳定可靠的特点。

附图说明

图1是本实用新型的结构连接示意图

图2是图1中甩干转盘A的俯视图

图中，1-烘箱箱体、2-石棉、3-基板、4-电机主轴、5-电机、6-电机调速器、7-鼓风机、8-万向轮、9-通气孔、10-烘干架、11-散热窗、12-石英加热管、13-热电偶、14-温控仪、15-抽气管、16-机械泵、17-真空抽气孔、18-环形平板圈、19-转盘中心，A和A1、A2-甩干转盘；

具体实施方式

以下结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明