[实用新型]涂布薄膜设备中防止样品损坏的装置有效
| 申请号： | 201020248437.4 | 申请日： | 2010-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN201892818U | 公开（公告）日： | 2011-07-06 |
| 发明（设计）人： | 吴俊明 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 牛峥;王丽琴 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种涂布薄膜设备中防止待涂布样品损坏的装置，包括：感应装置和报警装置，所述感应装置设置于样品稳固装置下方，包括不同高度位置设置的上感应托盘、下感应托盘以及使所述上、下感应托盘分开的回复力装置，所述下感应托盘固定设置在所述涂布薄膜设备中，在安装样品稳固装置时，所述上感应托盘在所述样品稳固装置重力的作用下，可随其下降至与所述下感应托盘装置相紧靠的位置；所述报警装置与所述感应装置相连接，可根据所述上、下感应托盘的位置状态进行报警。本实用新型的防止待涂布样品损坏的装置可以通过感应装置来判断样品稳固装置的位置是否正确，并报警装置将判断结果告知涂布薄膜设备操作人员，有效避免意外发生。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 设备 防止 样品 损坏 装置 | ||
【主权项】：
一种涂布薄膜设备中防止样品损坏的装置，所述涂布薄膜设备包括样品吸附装置、样品稳固装置和光刻胶处理装置；其特征在于，该防止样品损坏的装置包括：感应装置，设置于所述样品稳固装置下方，包括不同高度位置设置的上感应托盘、下感应托盘以及使所述上、下感应托盘分开的回复力装置，所述下感应托盘固定设置在所述涂布薄膜设备中，所述上感应托盘可在所述样品稳固装置重力的作用下，下降至与所述下感应托盘相紧靠的位置；报警装置，其与所述感应装置相连接。
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