[实用新型]一种用于单晶硅片清洗的洗片机无效
申请号: | 201020241550.X | 申请日: | 2010-06-28 |
公开(公告)号: | CN201711304U | 公开(公告)日: | 2011-01-19 |
发明(设计)人: | 李勇超 | 申请(专利权)人: | 渭南安信电子技术有限公司 |
主分类号: | B08B3/02 | 分类号: | B08B3/02 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 714009 *** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 一种用于单晶硅片清洗的洗片机,包括一工作台,工作台上设置有至少一排挂架,在挂架的下方设置有水管,每两根水管中间的正上方是挂架,在水管上设置有可调节的喷嘴组,喷嘴组的下方设置有排水槽,工作时将单晶硅片悬挂于挂架上,水通过水管从喷嘴组中喷出,喷嘴组的方向可调,可根据清洗要求调整喷水的方向,洗的水通过排水槽排到工作台的下水道中,本实用新型能够将单晶硅片挂上并从各种角度清洗,能使工作效率提高,并且清洗得更加干净。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 单晶硅 清洗 洗片机 | ||
【主权项】:
一种用于单晶硅片清洗的洗片机,其特征在于,包括一工作台(1),工作台(1)上设置有至少一排挂架(2),在挂架(2)的下方设置有水管(3),在水管(3)上设置有可调节的喷嘴组(4),喷嘴组(4)的下方设置有排水槽(5)。
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