[实用新型]一种基于真空隧道电流检测的红外气体检测装置无效
| 申请号： | 201020240569.2 | 申请日： | 2010-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN201819878U | 公开（公告）日： | 2011-05-04 |
| 发明（设计）人： | 张正勇;杨地委 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | G01N21/35 | 分类号： | G01N21/35;G01N27/60 |
| 代理公司： | 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 34101 | 代理人： | 何梅生 |
| 地址： | 230031 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于真空隧道电流检测的红外气体传感器，其特征在于设置红外光源，在红外光源的光轴线上分别设置有被测气体的开放气室、被测气体的密封气室和真空隧道电流的真空室；来自红外光源的红外光线透过红外滤光片经开放气室后，再通过透光玻璃板投向密闭气室，密闭气室以其外端侧的弹性膜板作为可改变真空室内两隧道电极之间的距离的真空室的一侧端面。本实用新型使得红外气体传感器的结构简单、检测精度高、对红外光源的单色性要求低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 真空 隧道 电流 检测 红外 气体 装置 | ||
【主权项】：
一种基于真空隧道电流检测的红外气体检测装置，其特征在于：设置红外光源(1)，在所述红外光源(1)的光轴线上分别设置有被测气体的开放气室(6)、被测气体的密封气室(10)和真空隧道电流的真空室(12)；来自红外光源(1)的红外光线透过红外滤光片(2)经开放气室(6)后，再通过透光玻璃板(8)投向密闭气室(10)，密闭气室(10)以其外端侧的弹性膜板(11)作为可改变真空室(12)内两隧道电极之间的距离的真空室(12)的一侧端面。
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