[实用新型]一种基于真空隧道电流检测的红外气体检测装置

权利要求书

1.一种基于真空隧道电流检测的红外气体检测装置，其特征在于：设置红外光源(1)，在所述红外光源(1)的光轴线上分别设置有被测气体的开放气室(6)、被测气体的密封气室(10)和真空隧道电流的真空室(12)；来自红外光源(1)的红外光线透过红外滤光片(2)经开放气室(6)后，再通过透光玻璃板(8)投向密闭气室(10)，密闭气室(10)以其外端侧的弹性膜板(11)作为可改变真空室(12)内两隧道电极之间的距离的真空室(12)的一侧端面。

2.根据权利要求1所述的基于真空隧道电流检测的红外气体检测装置，其特征在于：设置所述被测气体的开放气室(6)的左端板为红外滤光片(2)，右端板为透光玻璃板(8)，四周的开放气室侧壁(3)内表面为光线反射面(4)，开放气室侧壁(3)上设置有进气孔(5)和排气孔(7)。

3.根据权利要求1所述的基于真空隧道电流检测的红外气体检测装置，其特征在于：所述的被测气体的密闭气室(10)是以透光玻璃板(8)为一侧端板、与四周的密闭气室侧壁(9)和另一端的弹性膜(11)共同围成；所述四周的密闭气室侧壁(9)和弹性膜(11)为一体化结构；在所述密闭气室(10)内按设定的压力封闭有纯净的被测气体，在所述弹性膜(11)的外表面中心设置左隧道电极(14)，在所述左隧道电极(14)外围设置左偏转电极(13)。

4.根据权利要求1所述的基于真空隧道电流检测的红外气体检测装置，其特征在于：所述的真空隧道电流的真空室(12)是以所述弹性膜(11)所在一侧的密闭气室(10)的端面为端板、与四周的真空室侧壁(19)与右侧端板(18)共同围成；在所述右侧端板(18)的中心、朝向左隧道电极(13)的方向有一尖锥(17)；所述真空室侧壁(19)、右侧端板(18)以及尖椎(17)为一体化结构；对应于所述左隧道电极(14)所在位置，在所述尖锥(17)的锥体表面及右侧端板(18)内侧中心设置右隧道电极(16)，对应于所述左偏转电极(13)所在位置，在所述右隧道电极(16)外围设置右偏转电极(15)。