[实用新型]用于单晶硅炉的高频电源

摘要

本实用新型公开了一种用于单晶硅炉的高频电源，包括主控电路、输入电抗器、三相整流桥、功率模块以及滤波回路，其中功率模块包括依次连接的RC滤波电路、移相全桥ZVS-PWM变换器、高频降压变压器、以及快速二极管整流单元。本实用新型具有体积小，重量轻，并且能耗小、可靠性高，用于单晶硅的生产，可大大降低成本。

主权项

一种用于单晶硅炉的高频电源，包括主控电路、三相整流桥和滤波回路，其特征在于：还包括输入电抗器以及功率模块，其中主控电路，用于实时控制各个模块的工作状态；输入电抗器，与三相输入电源连接，用于降低系统谐波；三相整流桥，其输入端与输入电抗器的输出端连接，用于将输入的交流电源整流为直流电源，并将整流后的直流信号输出给功率模块；功率模块，将直流信号经高频逆变器逆变为高频交流信号、然后经降压及整流后，输出给滤波回路；滤波回路，用于将功率模块输出的直流信号进行滤波后输出。