[实用新型]用于单晶硅炉的高频电源

权利要求书

1.一种用于单晶硅炉的高频电源，包括主控电路、三相整流桥和滤波回路，其特征在于：还包括输入电抗器以及功率模块，其中

主控电路，用于实时控制各个模块的工作状态；

输入电抗器，与三相输入电源连接，用于降低系统谐波；

三相整流桥，其输入端与输入电抗器的输出端连接，用于将输入的交流电源整流为直流电源，并将整流后的直流信号输出给功率模块；

功率模块，将直流信号经高频逆变器逆变为高频交流信号、然后经降压及整流后，输出给滤波回路；

滤波回路，用于将功率模块输出的直流信号进行滤波后输出。

2.根据权利要求1所述的用于单晶硅炉的高频电源，其特征在于：所述功率模块包括依次连接的RC滤波电路、移相全桥ZVS-PWM变换器、高频降压变压器、以及整流单元。

3.根据权利要求2所述的用于单晶硅炉的高频电源，其特征在于：所述整流单元为快速二极管整流单元。

4.根据权利要求1至3任一项所述的用于单晶硅炉的高频电源，其特征在于：所述功率模块至少为两块。