[实用新型]一种高纯度三氯氧磷储运装置有效
| 申请号： | 201020157676.9 | 申请日： | 2010-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN201678449U | 公开（公告）日： | 2010-12-22 |
| 发明（设计）人： | 向东;舒骁骥;姜盛君 | 申请（专利权）人： | 向东 |
| 主分类号： | C01B25/10 | 分类号： | C01B25/10;B65D85/82 |
| 代理公司： | 徐州市淮海专利事务所 32205 | 代理人： | 胡亚辉 |
| 地址： | 550001 贵州省贵*** | 国省代码： | 贵州;52 |
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| 摘要： | 一种高纯度三氯氧磷储运装置，高纯三氯氧磷容器连接多端口液体分布器，多端口液体分布器连接蠕动泵，蠕动泵连接外包半导体冷阱的石英鼓泡器，石英鼓泡器连接磷扩散器高纯三氯氧磷容器上有气体入口阀，石英鼓泡器上有高纯氮气进气阀。该装置运输方便，牢固结实不易碎，使用方便、安全，节约了物流成本；该装置均采用PFA或其他耐腐蚀高纯度塑料或高纯石英等非金属材料，可完全避免金属杂质对物料的污染，保证物料的纯度；采用了蠕动泵精确控制，使鼓泡器出料浓度稳定，可使使用厂家在扩散工艺过程中达到最佳扩散目的，保证产品质量；该装置结构简单、安全可靠、无泄漏、无污染、使用成本低、维护成本低，深受高纯三氯氧磷使用厂家欢迎。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纯度 三氯氧磷 储运 装置 | ||
【主权项】：
一种高纯度三氯氧磷储运装置，其特征是：高纯三氯氧磷容器连接多端口液体分布器，多端口液体分布器连接蠕动泵，蠕动泵连接外包半导体冷阱的石英鼓泡器，石英鼓泡器连接磷扩散器。
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