[实用新型]一种高纯度三氯氧磷储运装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种剧毒危险品高纯度三氯氧磷的储运使用装置。

背景技术

高纯度的三氯氧磷(99.9999％～99.99999％)是生产制造光纤预制棒的主要原材料之一，也是集成电路、太阳能电池、电子元器件生产过程的扩散、掺杂工艺中的主要原料，被广泛运用于光伏、IC产业。但其属于强腐蚀性、强氧化性、剧毒、遇水剧烈反应的无色透明化学品。目前对高纯度三氯氧磷的储运一种是使用高纯石英容器(0.4～1.5L)盛装，进出高纯氮气管采用PFA阀门密封、连接，作为运输和使用容器，其缺点是玻璃容器易碎、换瓶频繁、操作危险、泄漏风险高、人力成本高、物流成本高；另一种是使用19L不锈钢SS316L储罐，其缺点是操作烦琐、装置结构复杂、工作压力高、装置自身成本高、维护成本高(需专业维护人员)，且不能彻底杜绝金属杂质对物料的污染。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种结构简单、安全可靠、无泄漏、无污染、使用成本低的高纯度三氯氧磷储运装置。

本实用新型的目的是这样实现的：高纯三氯氧磷容器连接多端口液体分布器，多端口液体分布器连接蠕动泵，蠕动泵连接外包半导体冷阱的石英鼓泡器，石英鼓泡器连接磷扩散器。

高纯三氯氧磷容器上有气体入口阀。

石英鼓泡器上有高纯氮气进气阀。

由于本实用新型采用上述结构，该装置运输方便，牢固结实不易碎，使用方便、安全，节约了物流成本；该装置均采用PFA或其他耐腐蚀高纯度塑料或高纯石英等非金属材料，可完全避免金属杂质对物料的污染，保证物料的纯度；采用了蠕动泵精确控制，使鼓泡器出料浓度稳定，可使使用厂家在扩散工艺过程中达到最佳扩散目的，保证产品质量；该装置结构简单、安全可靠、无泄漏、无污染、使用成本低、维护成本低，深受高纯三氯氧磷使用厂家欢迎。

附图说明

图1为本实用新型实施例的结构图。

图中1高纯三氯氧磷容器、2多端口液体分布器、3蠕动泵、4石英鼓泡器、5半导体冷阱、6气体入口阀、7高纯氮气进气阀、8磷扩散器。

具体实施方式

实施例：高纯三氯氧磷容器1连接多端口液体分布器2，多端口液体分布器2连接蠕动泵3，蠕动泵3连接外包半导体冷阱5的石英鼓泡器4，石英鼓泡器4连接磷扩散器8，高纯三氯氧磷容器1上有气体入口阀6，石英鼓泡器4上有高纯氮气进气阀7。

25L高纯三氯氧磷容器1上部一端通过气体入口阀6接如使用现场的高纯氮气，上部另一端连接多端口液体分布器2，液体分布器2连接型号为BT100-1L的蠕动泵3，蠕动泵3分别连接两个(或多个)500ml的石英鼓泡器4，石英鼓泡器4置于型号为LJB1-14的半导体冷阱5中，石英鼓泡器4上的高纯氮气进气阀接入高纯氮气，出料端连接磷扩散器。

使用时在石英鼓泡器3内按磷扩散工艺需求装入一定量的高纯三氯氧磷，开启半导体冷阱5将石英鼓泡器4内物料调节到20℃，再开启现场的高纯氮气，打开高纯三氯氧磷容器1上部的气体入口阀6和石英鼓泡器4上部的高纯氮气进气阀7，再开启蠕动泵3按磷扩散工艺对高纯三氯氧磷的需求将每根进料管的流量控制在0.01--50ml/min，可连续供料保证稳定运行。