[实用新型]一种晶圆测试探针卡无效
| 申请号： | 201020152738.7 | 申请日： | 2010-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN201654081U | 公开（公告）日： | 2010-11-24 |
| 发明（设计）人： | 张宏勇;姚华文;张复才;宋友奎 | 申请（专利权）人： | 江苏华创光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;G01R31/26 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 肖明芳 |
| 地址： | 214213 江苏省宜兴市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了本实用新型公开了一种晶圆测试探针卡，包括底层PCB板，在底层PCB板上固定设置有测试探针，所述测试探针包括中空的探针柱、探针头以及探针弹簧；所述探针柱一端连接PCB板，探针弹簧位于探针柱内，探针弹簧一端连接探针柱的底部，另一端连接所述探针头。本实用新型所述的晶圆测试探针卡，结构简单，使用本实用新型后晶圆测试工艺制程简单、技术质量可靠、可操作性强、晶圆级老化可靠性高，减少测试成本，更快的失效问题的反馈，可取得较佳且稳定的测试结果，起到大量节省原料成本和大幅度提高效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测试 探针 | ||
【主权项】：
一种晶圆测试探针卡，其特征在于，包括底层PCB板，在底层PCB板上固定设置有测试探针，所述测试探针包括中空的探针柱、探针头以及探针弹簧；所述探针柱一端连接PCB板，探针弹簧位于探针柱内，探针弹簧一端连接探针柱的底部，另一端连接所述探针头。
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