[实用新型]具有上部断热材的单晶炉装置有效
| 申请号： | 201020118205.7 | 申请日： | 2010-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN201614429U | 公开（公告）日： | 2010-10-27 |
| 发明（设计）人： | 舟桥启;贺贤汉;河野贵之 | 申请（专利权）人： | 上海汉虹精密机械有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B15/10 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 胡晶 |
| 地址： | 200444 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种硅单晶制造装置，特别是涉及一种具有上部断热材的单晶炉装置，在单晶炉内设置石英坩埚，并将硅料装设石英坩埚内，并且在石英坩埚周围设置一使硅料熔化的加热器，在石英坩埚的上部设置热屏，热屏是通过支撑体设置在单晶炉装置的壳内，在热屏和支撑体的连接处设置一上部断热材。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 上部 断热材 单晶炉 装置 | ||
【主权项】：
一种具有上部断热材的单晶炉装置，在单晶炉内设置石英坩埚，并将硅料装设石英坩埚内，并且在石英坩埚周围设置一使硅料熔化的加热器，在石英坩埚的上部设置热屏，热屏是通过支撑体设置在单晶炉装置的壳内，其特征在于，在热屏和支撑体的连接处设置一上部断热材。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海汉虹精密机械有限公司，未经上海汉虹精密机械有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201020118205.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：带落棉回收装置的单打手成卷机
- 下一篇：一种结构改进的镀锡槽
