[实用新型]一种六氟化硫气体纯度及分解产物综合分析仪

摘要

一种六氟化硫气体纯度及分解产物综合分析仪，其中：包括第一分析模块、第二分析模块。可同时测量待测六氟化硫样气中空气含量、四氟化碳含量、六氟化硫含量和六氟化硫分解产物含量，将各种成分浓度测量的功能整合到一起，大大降低了对六氟化硫样气的损耗，并且操作简便、省时省力，非常适于目前越来越严格的高效率、低成本的需求趋势，进一步的，本实用新型的六氟化硫气体纯度及分解产物综合分析仪针对六氟化硫分解产物中的二氧化硫含量测量还具有预估功能，可避免二氧化硫含量过高造成分析仪损坏，非常适于二氧化硫含量波动较大领域的六氟化硫气体测量。

主权项

一种六氟化硫气体纯度及分解产物综合分析仪，其特征在于：包括第一分析模块、第二分析模块，其中，所述的第一分析模块包括载气进气管、载气出气口、第一样气进气管、第一样气出气口、载气压力传感器、载气流量传感器、TCD热导池、注射室、定量环、第一选通阀、色谱柱箱、第一信号采集单元、第一信号处理单元、第一显示单元，其中，载气压力传感器、载气流量传感器、TCD热导池、色谱柱箱的信号输出端分别连接第一信号采集单元的载气压力信号输入端、载气流量信号输入端、TCD热导池信号输入端、色谱柱箱信号输入端，第一信号采集单元的信号输出端连接第一信号处理单元的信号输入端，第一信号处理单元的显示信号输出端连接第一显示单元的信号输入端，载气压力传感器、载气流量传感器均设置在载气进气管上，载气进气管的出气口连接TCD热导池中参考池的进气口，TCD热导池中参考池的出气口连接注射室进气口，第一选通阀包括使第一样气进气管依次连通定量环、样气出气口的第一选通档以及使注射室出气口依次连通定量环、色谱柱进气口的第二选通档，色谱柱的出气口连接TCD热导池中测量池的进气口，TCD热导池中测量池的出气口连接载气出气口。