[实用新型]一种六氟化硫气体纯度及分解产物综合分析仪

权利要求书

1.一种六氟化硫气体纯度及分解产物综合分析仪，其特征在于：包括第一分析模块、第二分析模块，其中，所述的第一分析模块包括载气进气管、载气出气口、第一样气进气管、第一样气出气口、载气压力传感器、载气流量传感器、TCD热导池、注射室、定量环、第一选通阀、色谱柱箱、第一信号采集单元、第一信号处理单元、第一显示单元，其中，载气压力传感器、载气流量传感器、TCD热导池、色谱柱箱的信号输出端分别连接第一信号采集单元的载气压力信号输入端、载气流量信号输入端、TCD热导池信号输入端、色谱柱箱信号输入端，第一信号采集单元的信号输出端连接第一信号处理单元的信号输入端，第一信号处理单元的显示信号输出端连接第一显示单元的信号输入端，载气压力传感器、载气流量传感器均设置在载气进气管上，载气进气管的出气口连接TCD热导池中参考池的进气口，TCD热导池中参考池的出气口连接注射室进气口，第一选通阀包括使第一样气进气管依次连通定量环、样气出气口的第一选通档以及使注射室出气口依次连通定量环、色谱柱进气口的第二选通档，色谱柱的出气口连接TCD热导池中测量池的进气口，TCD热导池中测量池的出气口连接载气出气口。

2.如权利要求1所述的六氟化硫气体纯度及分解产物综合分析仪，其特征在于：第一选通阀为平面六通阀，注射室出气口连接平面六通阀的第一端口，平面六通阀的第二端口连接色谱柱的进气口，平面六通阀的第三、第六端口之间连接定量环，平面六通阀的第五端口连接第一样气进气管，平面六通阀的第四端口连接第一样气出气口；所述的平面六通阀的第一选通档为第一、第二端口之间连通，同时，第三、第四端口之间连通，以及，第五、第六端口之间连通；所述平面六通阀的第二选通档为第二、第三端口之间连通，同时，第四、 第五端口之间连通，以及，第一、第六端口之间连通。

3.如权利要求2所述的六氟化硫气体纯度及分解产物综合分析仪，其特征在于：所述载气进气管上沿气流方向依次设置有稳压阀和流量调节阀；所述第一样气进气管上沿气流方向依次设置有控制开关和流量调节阀。

4.如权利要求1至3任一项所述的六氟化硫气体纯度及分解产物综合分析仪，其特征在于：所述的第二分析模块包括第二样气进气管、第二样气出气口、第二选通阀、第一传感器气室、第二传感器气室、第二信号采集及处理单元、第二显示单元，其中，第二样气进气管连接第二选通阀的进气口，第二传感器气室的出口连接第二样气出气口，第二选通阀包括单独连通第二传感器气室的第一选通档以及使第一传感器气室与第二传感器气室的气路串联并连通的第二选通档；第一传感器气室包括小量程测量二氧化硫浓度的第一二氧化硫传感器，第二传感器气室包括大量程测量二氧化硫浓度的第二二氧化硫传感器，第一二氧化硫传感器测量二氧化硫浓度的量程包含在第二二氧化硫传感器测量二氧化硫浓度的量程范围之内；第一、第二二氧化硫传感器的信号输出端分别连接第二信号采集及处理单元的第一、第二采集信号输入端，第二信号采集及处理单元的显示信号输出端连接第二显示单元的信号输入端。

5.如权利要求4所述的六氟化硫气体纯度及分解产物综合分析仪，其特征在于：所述的第二选通阀为两位四通阀，其第四端口连接进气管，其第一端口连接第二传感器气室的进气口，其第二、第三端口分别连接第一传感器气室的出气口、进气口，两位四通阀的第一选通档为第一、第四端口之间连通，同时，第二、第三端口之间连通，两位四通阀的第二选通档为第一端口与第二端口之间连通，同时，第三端口与第四端口之间连通。 

6.如权利要求5所述的六氟化硫气体纯度及分解产物综合分析仪，其特征在于：所述的第一传感器气室还包括用于测量硫化氢浓度的硫化氢传感器，硫化氢传感器的信号输出端连接第二信号采集及处理单元的第三采集信号输入端。

7.如权利要求6所述的六氟化硫气体纯度及分解产物综合分析仪，其特征在于：所述的第二传感器气室还包括用于测量一氧化碳浓度的一氧化碳传感器，一氧化碳传感器的信号输出端连接第二信号采集及处理单元的第四采集信号输入端。

8.如权利要求7所述的六氟化硫气体纯度及分解产物综合分析仪，其特征在于：所述的分析仪还包括设置于分析仪气路上的电子流量计，电子流量计的信号输出端连接信号处理单元的第五信号输入端。

9.如权利要求8所述的六氟化硫气体纯度及分解产物综合分析仪，其特征在于：所述第二样气进气管上还设置有稳压阀和流量调节阀。