[实用新型]多晶硅还原炉用湍流场混合进料装置无效
| 申请号： | 201020110697.5 | 申请日： | 2010-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN201634436U | 公开（公告）日： | 2010-11-17 |
| 发明（设计）人： | 赵振元;姚伟;刘胜春;李骥;蒋玉梅;赵杰 | 申请（专利权）人： | 信息产业电子第十一设计研究院有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/03 | 分类号： | C01B33/03;C30B29/06 |
| 代理公司： | 成都中亚专利代理有限公司 51126 | 代理人： | 胡松涛 |
| 地址： | 610051 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种多晶硅还原炉用湍流场混合进料装置，包括有数段导向圆筒，其特征在于：导向圆筒分为正向导向圆筒和反向导向圆筒，所述正向导向圆筒内周面设置有正螺旋导向板，所述反向导向圆筒内周面设置有反螺旋导向板，正向导向圆筒与反向导向圆筒间通过法兰连接，且正向导向圆筒与反向导向圆筒呈交替连接方式连接。本实用新型结构简单、能使氢气与三氯氢硅充分混合以湍流的形式进入还原炉，将氢气与三氯氢硅由于密度差造成的混合不均匀降低到最低限度，使硅棒生长均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 还原 湍流 混合 进料 装置 | ||
【主权项】：
一种多晶硅还原炉用湍流场混合进料装置，包括有数段导向圆筒，其特征在于：导向圆筒分为正向导向圆筒和反向导向圆筒，所述正向导向圆筒内周面设置有正螺旋导向板，所述反向导向圆筒内周面设置有反螺旋导向板，正向导向圆筒与反向导向圆筒间通过法兰连接，且正向导向圆筒与反向导向圆筒呈交替连接方式连接。
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