[实用新型]多晶硅还原炉用湍流场混合进料装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及化工行业用多晶硅还原炉的配件，具体涉及一种多晶硅还原炉用湍流场混合进料装置。

背景技术

现有多晶硅生产中，进料由TCS汽化器出来的三氯氢硅与氢气混合直接进入还原炉。由于氢气的密度与三氯氢硅密度相差很大(约6.2倍)，容易造成的混合不均匀，从而使还原炉内硅棒粗细不均匀，甚至直径相差一倍之多，造成很多浪费。

实用新型内容

鉴于上述不足之处，本实用新型的目的在于提供一种结构简单、能使氢气与三氯氢硅充分混合以湍流的形式进入还原炉，将氢气与三氯氢硅密度差造成的不均匀降低到最低限度，使硅棒生长均匀的多晶硅还原炉用湍流场混合进料装置。

为了达到上述木的，本实用新型的采用了一下技术方案：一种多晶硅还原炉用湍流场混合进料装置，包括有数段导向圆筒，其中，导向圆筒分为正向导向圆筒和反向导向圆筒，所述正向导向圆筒内周面设置有正螺旋导向板，所述反向导向圆筒内周面设置有反螺旋导向板，正向导向圆筒通过法兰连接反向导向圆筒，且正向导向圆筒与反向导向圆筒呈交替连接方式(一正一反一正一反或一反一正一反一正)连接。

在本实用新型中，法兰同时起着连接导向圆筒和调角度的作用。

本实用新型安装在多晶硅还原炉进料口，本实用新型采用多级正反向相间螺旋，通过法兰调节每节螺旋旋向与角度，使氢气与三氯氢硅充分混合。当三氯氢硅与氢气进入本实用新型中，先通过正向导向圆筒中的的正螺旋导向板(或反向导向圆筒中的反螺旋导向板)混合后，正旋(或反旋)的混合物在进入到反向导向圆筒中的反螺旋导向板(或正向导向圆筒中的的正螺旋导向板)进行反旋(或正旋)混合，以此一正一反(或一反一正)多次正反湍流混合，使得氢气与三氯氢硅得以最大限度的充分混合后再以湍流的形式进入还原炉，将氢气与三氯氢硅由于密度差造成的混合不均匀降低到最低限度，使硅棒生长均匀。

附图说明

图1本实用新型实施例结构示意图。

图中：1.法兰；2.正向导向圆筒；3.反向导向圆筒；4.正螺旋导向板；5.反螺旋导向板。

具体实施方式

下面我们将结合附图对本实用新型作进一步的说明：

如图1所示，一种多晶硅还原炉用湍流场混合进料装置，包括有3段导向圆筒，其中，内周面设置有正螺旋导向板4的正向导向圆筒2通过法兰1连接内周面设置有反螺旋导向板5的反向导向圆筒3，反向导向圆筒3再通过法兰1连接正向导向圆筒2，正向导向圆筒2与反向导向圆筒3呈一正一反一正的交替连接方式连接。