[实用新型]单晶炉勾形磁场装置

摘要

本实用新型公开的一种单晶炉勾形磁场装置，包括屏蔽护罩，屏蔽护罩的一侧设置有水路，水路的外部设置有水路护罩，屏蔽护罩的下方设置有升降机构，升降机构的一侧设置有用于驱动升降机构的升降电机，屏蔽护罩内平行设置有上层线圈和下层线圈，上层线圈包括十组单组线圈，下层线圈包括十五组单组线圈，单组线圈采用四根空心方铜管并行绕制成纵向两层、横向十二匝、共二十四匝的圆形线圈，单组线圈包括奇数组线圈和偶数组线圈。本实用新型磁场装置，不仅能产生满足大直径单晶炉生产极大规模集成电路单晶所用的磁感应强度，而且能有效带走线圈产生热量，降低线圈温度，从而减小线圈电阻，降低系统功率；同时连接和安装方便。

主权项

一种单晶炉勾形磁场装置，包括屏蔽护罩(8)，屏蔽护罩(8)的一侧设置有水路(1)，水路(1)的外部设置有水路护罩(3)，屏蔽护罩(8)的下方设置有升降机构(5)，升降机构(5)的一侧设置有用于驱动升降机构(5)的升降电机(6)，其特征在于，所述的屏蔽护罩(8)内平行设置有上层线圈(2)和下层线圈(4)，上层线圈(2)包括十组单组线圈，下层线圈(4)包括十五组单组线圈，单组线圈采用四根空心方铜管并行绕制成纵向两层、横向十二匝、共二十四匝的圆形线圈，单组线圈包括奇数组线圈和偶数组线圈。