[实用新型]低温共烧陶瓷印刷分系统上的工作台装置

摘要

本实用新型涉及一种应用在低温共烧陶瓷(LTCC)印刷分系统上的能实现吸附待印刷的生瓷片的工作台装置。本实用新型包括三个线性电机，三套光栅尺，三层台板，一件多孔陶瓷板，两副导轨，一个轴承，其他辅助零件等组成。在工作时是由CCD对工件(生瓷片)进行取样，与标准模版对比，通过特定的算法求得该工件的位置偏差，再由线性电机驱动各层板实现。本实用新型装置设有X、Y、θ三个方向可以微量调整功能，X、Y向对准调节量为±5mm，θ向±2°，对准精度优于±0.005mm。其调节更方便准确，自动化程度更高，对位精度更高，速度更快。

主权项

低温共烧陶瓷印刷分系统上的工作台装置，其特征在于：所述工作台装置包括三个线性电机：x向、y向、θ向，三套光栅尺，三层台板，一件多孔陶瓷板，两副直线导轨，一个轴承；三层台板由下向上依次装配，上层台板用质轻、加工性能好的铸铝，下面两层台板为了防磁，采用不锈钢材质；上层台板作为工作台面板，其上表面中央嵌有多孔陶瓷板，在上层台板下面在多孔陶瓷板的下方设有真空腔；在上层台板下面通过轴承装配有驱动上层台板的θ向线性电机，中间层台板下面通过一副x向直线导轨装配有驱动中间层台板的x向线性电机，下层台板下面配设有装配在一副y向直线导轨上驱动下层台板的y向线性电机，x向、y向为直线方向，θ向为旋转方向；在三层台板一侧对应x向线性电机装配有x向光栅尺，在三层台板另一侧对应θ向线性电机装配有θ向光栅尺；中y向直线导轨装配在工作台之外设在低温共烧陶瓷印刷分系统的y向导轨座上，对应y向线性电机的y向光栅尺装配在y向导轨座上设在y向直线导轨之后。