[实用新型]低温共烧陶瓷印刷分系统上的工作台装置

说明书

技术领域：

本实用新型涉及一种应用在低温共烧陶瓷(LTCC)印刷分系统上的能实现吸附待印刷的生瓷片的工作台装置。

背景技术

随着微电子信息技术的迅猛发展，电子整机在小型化、便携式、多功能、数字化、高性能、高可靠性等方面的需求，以及对元器件的小型化、集成化以至模块化的要求都越来越迫切。低温共烧陶瓷(LTCC)技术应运而生，它集中了厚膜技术和高温共烧陶瓷技术的优点，应用于多层芯片线路模块化设计中，有着非常广泛的应用前景。工作台是低温共烧陶瓷(LTCC)印刷分系统的核心机构。目前可采用半自动太阳能印刷设备上的工作台应用于低温共烧陶瓷(LTCC)印刷分系统，但是应用于半自动太阳能印刷设备上的工作台是手动调节各轴位置，人工拾取放置硅片，对准精度底，效率慢。而低温共烧陶瓷(LTCC)印刷分系统对工作台的要求非常严格，因此需要一种更好的工作台。新的工作台需要实现生瓷片可靠吸附和印刷图形的自动对准等工艺要求，对准精度能达到0.005μm，是低温共烧陶瓷印刷系统保证精密印刷的关键部件。

实用新型内容

本实用新型的目的就在于提供一种应用在低温共烧陶瓷(LTCC)印刷分系统上的工作台装置，本实用新型能实现吸附待印刷的生瓷片，与线性电机、驱动器、光栅尺、CCD系统配合，能在X、Y、θ三个方向微量调节，实现精确对准。配合其他结构，能自动取放生瓷片，全自动印刷，组成低温共烧陶瓷(LTCC)印刷分系统，其调节更方便准确，自动化程度更高，对位精度更高，速度更快。

为实现上述目的，本实用新型的技术方案为：

本实用新型包括三个线性电机，三套光栅尺，三层台板，一件多孔陶瓷板，两副导轨，一个轴承，其他辅助零件等组成。三层台板由下向上依次装配，上层台板用质轻、加工性能好的铸铝，下面两层台板为了防磁，采用不锈钢材质；上层台板作为工作台面板，其上表面中央嵌设有多孔陶瓷板，在上层台板上多孔陶瓷板的下方设有真空腔；上层台板下面通过轴承装配有驱动上层台板的θ向线性电机，中间层台板下面通过一副x向直线导轨装配有驱动中间层台板的x向线性电机，下层台板下面配设有装配在一副y向直线导轨上驱动下层台板的y向线性电机，x向、y向为直线方向，θ向为旋转方向；在三层台板一侧对应x向线性电机装配有x向光栅尺，在三层台板另一侧对应θ向线性电机装配有θ向光栅尺；y向直线导轨装配在工作台之外设在低温共烧陶瓷印刷分系统的y向导轨座上，对应y向线性电机的y向光栅尺装配在y向导轨座上设在y向直线导轨之后。

本实用新型其X、Y向线性电机对准调节量为±5mm，θ向线性电机调节量为±2°。

本实用新型的有益效果为：该系统属于微电子组装关键设备，处于世界领先水平。该设备填补了国内在印刷领域的空白，为国家0611工程的圆满成功做出了突出贡献。三轴工作台是低温共烧陶瓷(LTCC)印刷分系统的核心机构。本三轴工作台采用线性电机驱动比螺旋测微头手动调节更方便准确，自动化程度更高，对位精度更高，其对准精度优于±0.005mm，速度更快。采用多孔陶瓷板作面板，比用钻孔的不锈钢板透气性好。

附图说明

图1为本实用新型实施例的结构示意图，

图2为本实用新型实施例的俯视结构示意图，

图3为图1A-A向剖视示意图，

图4为图2B-B向剖视示意图。

图中1转台光栅垫板，2转台光栅尺架，3转台光栅头架，4工作台面板，5真空底板，6多孔陶瓷板，7滚子轴承内压盖，8滚子轴承大压盖，9转台磁块线圈(θ向电机动子)，10上转板，11上滑板，12中滑板，13θ向电机定子，14倒钩接头，15联接板，16X向光栅尺，17X向扫描头18X向直线电机动子，19X向直线电机导轨，20滚子轴承，21θ向光栅读数头，22Y向直线电机导轨，23Y向直线电机定子。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作详细说明，如附图1、2、3、4所示本实用新型实施例，所述装置在工作时是由CCD对工件(生瓷片)进行取样，与标准模版对比，通过特定的算法求得该工件的位置偏差，再由线性电机驱动各层板实现。该装置设有X、Y、θ三个方向可以微量调整功能。X、Y向对准调节量为±5mm，θ向±2°，对准精度优于±0.005mm。

安装时先把X向导轨副和X向直线电机安装在中滑台12上，调节两根导轨的平行度，使其平行度小于0.005mm，再把装有X向直线电机动子18的上滑板11固定在X向直线电机导轨19的滑块上，X向直线电机动子18上配设有X向直线电机定子24；将转台磁块线圈(θ向电机定子)9、滚子轴承内压盖7、滚子轴承20、滚子轴承大压盖8、真空底板5、倒钩接头14依次安装，并固定在上滑板11上；然后安装上转板10和镶好多孔陶瓷板6的上层台板即工作台面板4用螺钉紧固。最后用螺钉将转台光栅垫板1、转台光栅尺架2、转台光栅头架3固定在上转板10和上滑板11上，并将θ向光栅读数头21固定好，同时将另一侧X向光栅尺16等电器件固定在其相应的位置。这套机构再与Y向直线电机导轨22连接好，本实用新型y向直线导轨22装配在工作台之外设在低温共烧陶瓷印刷分系统的y向导轨座上，对应y向线性电机的y向光栅尺装配在y向导轨座上设在y向直线导轨之后。这样整套三轴工作台至此则安装完毕，图3中可见Y向直线电机定子23。