[实用新型]一种三氯氢硅合成炉有效
| 申请号： | 201020013212.0 | 申请日： | 2010-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN201648006U | 公开（公告）日： | 2010-11-24 |
| 发明（设计）人： | 李法曾;杨秀玲;苗乃芬;李法山;王建民 | 申请（专利权）人： | 山东新龙硅业科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 济南舜源专利事务所有限公司 37205 | 代理人： | 李江 |
| 地址： | 262700 *** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种三氯氢硅合成炉，包括炉体，所述炉体包括上封头、中间壳体和下封头，所述炉体内形成密闭的腔室，在中间壳体上设有硅粉进口、原料气进口和合成气出口，所述中间壳体内设有若干根导热油列管，本实用新型采用导热油预热硅粉和降温，启动平稳，操作简单，设备投资低。在生产运行中，导热油进余热锅炉使热量充分利用，降低三氯氢硅生产的综合能耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 三氯氢硅 合成 | ||
【主权项】：
一种三氯氢硅合成炉，包括炉体，所述炉体包括上封头(1)、中间壳体和下封头(17)，所述炉体内形成密闭的腔室，在中间壳体上设有硅粉进口(14)、原料气进口(16)和合成气出口(8)，其特征在于：所述中间壳体内设有若干根导热油列管(9)。
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