[实用新型]一种三氯氢硅合成炉有效

专利信息
申请号: 201020013212.0 申请日: 2010-01-04
公开(公告)号: CN201648006U 公开(公告)日: 2010-11-24
发明(设计)人: 李法曾;杨秀玲;苗乃芬;李法山;王建民 申请(专利权)人: 山东新龙硅业科技有限公司
主分类号: C01B33/107 分类号: C01B33/107
代理公司: 济南舜源专利事务所有限公司 37205 代理人: 李江
地址: 262700 *** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 一种 三氯氢硅 合成
【说明书】:

技术领域

实用新型涉及一种化工设备,尤其涉及一种三氯氢硅合成炉,属化工设备领域。

背景技术

就三氯氢硅生产的技术设备而言,到目前为止已投产的三氯氢硅生产厂多数仍采用二十世纪七、八十年代的生产技术。目前在三氯氢硅行业,单台炉年最大生产能力不超过10000T/a,所有生产厂家都通过小设备、多台套来达到增加产量的目的。小型三氯氢硅合成炉的尺寸特点为:直筒段:内径D=800~1400mm,此类炉子单台能力小,不适应大规模生产的需要,而且这种合成炉的结构特点是从炉体的顶部进料,导致转化率较低,发硬不稳定,且温差变化比较大,尤其是技术上多采用人工控制,造成高料耗、高污染。

实用新型内容

本实用新型要解决的问题是提供一种生产效率高、降低能耗和产量大的三氯氢硅合成炉。

为解决上述问题,本实用新型所采用以下技术方案:

一种三氯氢硅合成炉,包括炉体,所述炉体包括上封头、中间壳体和下封头,所述炉体内形成密闭的腔室,在中间壳体上设有硅粉进口、原料气进口和合成气出口,其特征在于:所述中间壳体内设有若干根导热油列管。

以下是本实用新型对上述方案的进一步改进:

所述导热油列管由内管和外管套装在一起构成,内管和外管之间形成导热油腔,所述内管和外管在底部连通。

作为进一步改进:

所述上封头与中间壳体之间设有上管板,在中间壳体内设有下管板,所述中间壳体位于上管板与下管板之间的腔室为导热油室,导热油室的一侧设有导热油出口,在上封头上设有导热油进口,所述导热油列管的内管从下管板上伸出与上管板连接并与导热油进口连通,所述导热油列管的外管与下管板连接使得导热油腔与导热油室连通。

更进一步改进:

所述中间壳体内位于原料气进口的上方的位置安装有分布板,所述硅粉进口设置在分布板的上方位置。

在中间壳体上安装有若干个测压口和测温口。

所述中间壳体包括从下到上依次连接的直管段、过渡段和扩大段。

所述直管段的内径为1800mm、所述扩大段的内径为3800mm。

所述扩大段的高度为2500mm,过渡段的高度为2000mm。

本实用新型的工作原理是:干燥的HCL气体从原料气进口处进入,经过分布板后与硅粉进行流化反应。由于反应是放热反应,采用需要导热油进入进行降温。反应生成的合成气通过合成气出口进入后续处理系统。同时合成炉内有多个测温点和测压点进行监测,检测控制系统采用自动化DCS控制。

本实用新型采用上述方案,具有以下优点:

1、增加了其单台设备产能,单台年生产能力能够达到15000吨;

2、本实用新型可采用DCS控制,不仅大大减少操作人员数量及劳动强度,也大大提高了设备运行的稳定性;

3、本实用新型采用导热油预热硅粉和降温,启动平稳,操作简单,设备投资低。在生产运行中,导热油进余热锅炉使热量充分利用,降低三氯氢硅生产的综合能耗。

4、本实用新型各质量控制点控制参数合理,不仅做到带出硅粉回用,也避免了袋滤器、冷凝器等发生堵塞的现象发生。

5、本实用新型能够采用连续加料的方式进行生产,不仅有利于合成炉的稳定运行,也提高了合成炉的生产效率。

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明:

附图说明

附图为本实用新型实施例的结构示意图。

图中:1-上封头;2-导热油进口;3-上管板;4-导热油出口;5-下管板;6-测温口;7-测压口;8-合成气出口;9-导热油列管;10-扩大段;11-过渡段;12-直管段;13-排渣口;14-硅粉进口;15-分布板;16-原料气进口;17-下封头。

具体实施方式

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