[发明专利]一种硅片切削废液的资源化处理方法

摘要

本发明涉及一种硅片切削废液的资源化处理方法，其步骤是：将硅片切削废液经过降低粘度处理后，泵入一体式膜过滤装置，废液中的固体物质被截留并提浓，然后经过离心分级，重组分浓缩液经清洗、纯化、干燥，获得磨料级碳化硅颗粒，轻组分稀溶液经错流式膜过滤浓缩得到提取高纯硅的原料；膜过滤渗透液经纳滤或加添加剂结合微滤或超滤除去金属离子和色素等杂质，再脱水获得可重复利用的切削液分散粘结剂，实现切削废液中切削磨料、切削分散粘结剂和切削过程流入硅粉的全回收。该方法和现有工艺相比，具有工艺先进，流程短，操作简单，能耗低和回收效率高等优点，并易于放大，适用于工业化处理晶片切削废液。

主权项

一种硅片切削废液的资源化处理方法，具体步骤如下：a)将切削废液经过降低粘度处理，泵入一体式膜过滤器，渗透清液经后续处理得到切削分散粘结剂；浓缩液从分离器底部进入下一道工序；b)将上述膜过滤浓缩液进行离心分级，重组分经清洗纯化、干燥后得到用于晶片切削液的磨料；轻组分进行错流式膜过滤处理；c)将上述离心分级后的轻组分泵入错流式膜过滤装置，浓缩液经纯化干燥，提取高纯硅；渗透液进入下一道工序；d)将上述步骤a)和c)中膜过滤的渗透液用纳滤膜除去其中的杂质离子和色素；或者通过加入活性炭吸附剂、离子交换树脂或化学试剂中的一种或几种，除去其中的杂质离子和色素，再用错流式微滤或超滤膜过滤除去杂质；干燥后得到切削分散粘结剂产品。