[发明专利]一种硅片切削废液的资源化处理方法

权利要求书

1.一种硅片切削废液的资源化处理方法，具体步骤如下：

a)将切削废液经过降低粘度处理，泵入一体式膜过滤器，渗透清液经后续处理得到切削分散粘结剂；浓缩液从分离器底部进入下一道工序；

b)将上述膜过滤浓缩液进行离心分级，重组分经清洗纯化、干燥后得到用于晶片切削液的磨料；轻组分进行错流式膜过滤处理；

c)将上述离心分级后的轻组分泵入错流式膜过滤装置，浓缩液经纯化干燥，提取高纯硅；渗透液进入下一道工序；

d)将上述步骤a)和c)中膜过滤的渗透液用纳滤膜除去其中的杂质离子和色素；或者通过加入活性炭吸附剂、离子交换树脂或化学试剂中的一种或几种，除去其中的杂质离子和色素，再用错流式微滤或超滤膜过滤除去杂质；干燥后得到切削分散粘结剂产品。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征是：所述的切削废液中固体颗粒的质量含量为10％～70％。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征是：步骤a)中的一体式膜过滤器和步骤c)中的错流式膜过滤所用的膜是平均孔径为0.01～2μm的陶瓷膜。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征是步骤a)一体式膜滤为正压过滤、负压抽吸或者是二者结合，跨膜压差为0.01～1MPa；并采用曝气技术形成气液两相流控制膜表面滤饼的形成，每平米膜面积曝气量为10～2000L/h。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在步骤c)错流式膜过滤中控制的操作条件为温度5～90℃，压力0.01～0.5MPa，膜面流速0.1～5m/s。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于纳滤膜材料为截留分子量200～40000的有机高分子醋酸纤维素、磺化聚砜、磺化聚醚砜、聚酰胺、聚乙烯醇或聚哌嗪酰胺，或者是无机氧化物材料氧化铝、氧化钛、氧化锆、二氧化硅或氧化铪；控制纳滤操作条件为温度10～90℃，压力0.5～5MPa，膜面流速0.1～5m/s。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于步骤d)所述的方法，其特征在于加入的化学试剂为氢氧化钠、氢氧化镁、氢氧化钙或氢氧化钾；吸附剂为分子筛、活性碳、硅胶、硅藻土、膨润土、蒙脱土或海泡石；离子交换树脂为阳离子交换树脂或阴离子性树脂。