[发明专利]一种波长跟踪器有效
| 申请号： | 201010619284.4 | 申请日： | 2010-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN102564613A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 池峰;张志平;任胜伟;肖鹏飞;张晓文;陈勇辉 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G01J9/02 | 分类号： | G01J9/02 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出一种波长跟踪器，包括：一单轴干涉仪，实时检测波长变化；一标准腔，由相距一定距离的反射镜组成，为测试光线提供一光程；以及一底板，所述单轴干涉仪及所述标准腔固定于底板上形成一个整体；所述底板热膨胀系数接近于零，以保证所述底板上的所有光学元件的相对几何距离稳定。本发明提供的波长跟踪器，可同时对空气折射率变化和激光器本身参数变化引起的波长变化进行跟踪测量，同时还具有结构简单、装调难度低、测量分辨率高等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 波长 跟踪 | ||
【主权项】：
一种波长跟踪器，其特征在于包括：一单轴干涉仪，实时检测波长变化；一标准腔，由相距一定距离的反射镜组成，为测试光线提供一光程；以及一底板，所述单轴干涉仪及所述标准腔固定于底板上形成一个整体；其中，所述底板热膨胀系数接近于零，以保证所述底板上的所有光学元件的相对几何距离稳定。
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