[发明专利]一种波长跟踪器有效
| 申请号: | 201010619284.4 | 申请日: | 2010-12-31 |
| 公开(公告)号: | CN102564613A | 公开(公告)日: | 2012-07-11 |
| 发明(设计)人: | 池峰;张志平;任胜伟;肖鹏飞;张晓文;陈勇辉 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号: | G01J9/02 | 分类号: | G01J9/02 |
| 代理公司: | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人: | 王光辉 |
| 地址: | 201203 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 波长 跟踪 | ||
1.一种波长跟踪器,其特征在于包括:
一单轴干涉仪,实时检测波长变化;
一标准腔,由相距一定距离的反射镜组成,为测试光线提供一光程;以及
一底板,所述单轴干涉仪及所述标准腔固定于底板上形成一个整体;
其中,所述底板热膨胀系数接近于零,以保证所述底板上的所有光学元件的相对几何距离稳定。
2.如权利要求1所述的波长跟踪器,其特征在于所述底板材料为微晶玻璃。
3.如权利要求1所述的波长跟踪器,其特征在于所述单轴干涉仪由偏振分光棱镜、镀高反膜的四分之一波片、四分之一波片以及角锥棱镜组成,所述镀高反膜的四分之一波片和所述四分之一波片离偏振分光棱镜中心的距离相等。
4.如权利要求1所述的波长跟踪器,其特征在于波长测量分辨率由干涉仪的分辨率(细分数)和标准腔长决定:
其中,L——标准腔的初始长度;λ——初始时刻的波长;M——干涉测量系统的细分数。
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