[发明专利]偏振分光棱镜镀膜面角度测量装置和测量方法有效
| 申请号： | 201010616815.4 | 申请日： | 2010-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN102564352A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 樊仲维;朱光;戚司亮;王家赞 | 申请（专利权）人： | 北京国科世纪激光技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100192 北京市海淀区西*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种偏振分光棱镜镀膜面角度测量装置和测量方法。该偏振分光棱镜测量装置包括一个用于放置待测偏振分光棱镜的载物平台、一个与载物平台连接的第一转台、一个与第一转台连接的第二转台、一个反射镜、至少两个光阑和一个激光光源。该第一转台和第二转台均在平面内旋转，该载物平台所在平面、第一转台的旋转平面和第二转台的旋转平面互相交叉。该反射镜设置在该第二转台。该激光光源产生的激光束依次通过该至少两个光阑后进入待测偏振分光棱镜。该反射镜用于反射自该偏振分光棱镜内出射的光束。本发明具有测量装置结构简单，在工业化生产中会大大提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 偏振 分光 棱镜 镀膜 角度 测量 装置 测量方法 | ||
【主权项】：
一种偏振分光棱镜镀膜面角度测量装置，其特征在于，该测量装置包括：一个用于放置待测偏振分光棱镜的载物平台、一个与载物平台连接的第一转台、一个与第一转台连接的第二转台、一个反射镜、至少两个光阑和一个激光光源；该第一转台和第二转台均在平面内旋转，该载物平台所在平面、第一转台的旋转平面和第二转台的旋转平面互相交叉；该反射镜设置在该第二转台；该激光光源产生的激光束依次通过该至少两个光阑后进入待测偏振分光棱镜；该反射镜用于反射自该偏振分光棱镜内出射的光束。
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