[发明专利]偏振分光棱镜镀膜面角度测量装置和测量方法

权利要求书

1.一种偏振分光棱镜镀膜面角度测量装置，其特征在于，该测量装置包括：一个用于放置待测偏振分光棱镜的载物平台、一个与载物平台连接的第一转台、一个与第一转台连接的第二转台、一个反射镜、至少两个光阑和一个激光光源；该第一转台和第二转台均在平面内旋转，该载物平台所在平面、第一转台的旋转平面和第二转台的旋转平面互相交叉；该反射镜设置在该第二转台；该激光光源产生的激光束依次通过该至少两个光阑后进入待测偏振分光棱镜；该反射镜用于反射自该偏振分光棱镜内出射的光束。

2.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于，该至少两个光阑包括一个第一光阑和一个第二光阑，该激光光源产生的激光束依次通过该第一光阑和该第二光阑后进入待测偏振分光棱镜。

3.根据权利要求2所述的测量装置，其特征在于，第一光阑和该第二光阑的孔径中心在该载物平台所在平面的同一侧，且距该载物平台所在平面的垂直距离相同；该第一光阑和第二光阑之间的间距大于或者等于500毫米。

4.根据权利要求3所述的测量装置，其特征在于，定义该待测偏振分光棱镜的高度为H，该第一光阑和第二光阑的孔径中心距离该载物平台所在平面的距离为0.4H至0.6H。

5.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于，该第一转台的旋转平面与该载物平台所在平面垂直；该第二转台的旋转平面与第一转台的旋转平面垂直，同时也与载物平台所在平面垂直。

6.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于，该反射镜反射面与该载物平台所在平面平行；该反射镜活动设置于该第二转台。

7.根据权利要求6所述的测量装置，其特征在于，该反射镜反射面与载物平台所在平面的距离大于或者等于100毫米。

8.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于，该第一转台包括一个第一角度测量器，用于记录该第一转台的旋转角度位置；该第二转台包括一个第二角度测量器，用于记录该第二转台的旋转角度位置。

9.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于，该载物平台包括一个通孔，该通孔的尺寸小于该待测偏振分光棱镜的尺寸；该待测偏振分光棱镜设置在该通孔处，该待测偏振分光棱镜与该载物平台接触的面覆盖该通孔；自该至少两个光阑方向进入该待测偏振分光棱镜，并经该待测偏振分光棱镜镀膜面反射的光通过该通孔向该反射镜方向出射。

10.一种偏振分光棱镜镀膜面角度测量方法，其特征在于，该测量方法包括：

提供一个载物平台、一个与载物平台连接的中间转台和一个与中间转台连接的终端转台组，该终端转台组包括至少一个终端转台，该中间转台和每一终端转台在平面内旋转，载物平台所在平面、中间转台的旋转平面和每一终端转台的旋转平面互相交叉；

设置一个反射镜于该终端转台组的与该载物平台转台相隔最多转台的终端转台，调节该中间转台、终端转台组和该反射镜中的一个或者多个，使该反射镜反射面与该载物平台所在平面平行，记录每一个转台的初始位置；

将待测偏振分光棱镜设置在该载物平台；

设置至少两个光阑，使激光束依次通过该至少两个光阑形成入射光束并使入射光束射入该待测偏振分光棱镜，该入射光经待测偏振分光棱镜的镀膜面反射形成第一出射光向该反射镜方向出射；

调节中间转台和终端转台组，使该反射镜反射该第一出射光形成反射光，使该反射光经过该待测偏振分光棱镜的镀膜面反射形成第二出射光，使该第二出射光依次通过该至少两个光阑；

记录每一个转台的当前位置。