[发明专利]具有枢转支承件的活板输送阀

摘要

本发明提供具有枢转支承件的活板输送阀。细长第一开口(1)可借由细长阀关闭梁(4)关闭，该梁可经由枢转支承件绕枢转轴线(10)在关闭位置和开启位置之间枢转。轴杆(11)可借由驱动机构(13)绕轴杆轴线(12)旋转并操作连接至阀关闭梁，使得轴杆的旋转引起阀关闭梁枢转。枢转支承件至少由三个支承元件(27)形成，它们在阀壳体(14)内沿着轴杆轴线彼此相距一定距离地分布，阀关闭梁和轴杆安装在支承元件上。轴杆轴线距枢转轴线一定距离。第一臂(29)设置在轴杆上，借其向阀关闭梁的背面(7)施加力以枢转阀关闭梁。根据一个方面，阀关闭梁、枢转支承件和轴杆在气密阀壳体中设置在阀盖(20)上，并可通过分离和移除阀盖而从阀壳体分离。

主权项

一种活板输送阀，该活板输送阀用于将半导体元件或基板输送到能以气密方式被隔离的半导体或基板工艺处理室中，该活板输送阀具有：细长的特别是狭缝形的第一开口(1)，该第一开口沿第一纵向轴线(2)延伸并且被第一密封表面(3)以框架的形式包围；细长的阀关闭梁(4)，该阀关闭梁沿着大致平行于所述第一纵向轴线(2)的第二纵向轴线(5)延伸，并且所述阀关闭梁在正面(6)上具有用于关闭所述第一开口(1)的关闭表面(8)以及对应于所述第一密封表面(3)并且能与所述第一密封表面(3)气密地接触的第二密封表面(9)；枢转支承件，所述阀关闭梁(4)能借由该枢转支承件绕大致平行于所述第二纵向轴线(5)的枢转轴线(10)在关闭位置(C)和开启位置(O)之间特别是以60°至105°的枢转角进行枢转；在所述关闭位置(C)中，所述阀关闭梁(4)的所述关闭表面(8)覆盖并关闭所述第一开口(1)，并且所述第一密封表面(3)与所述第二密封表面(9)形成气密接触；而在所述开启位置(O)中，所述阀关闭梁(4)枢转离开所述第一开口(1)从而释放所述第一开口(1)；轴杆(11)，该轴杆能绕大致平行于所述第二纵向轴线(5)的轴杆轴线(12)旋转，并且所述轴杆(11)操作连接至所述阀关闭梁(4)，使得所述轴杆(11)绕所述轴杆轴线(12)的旋转致使所述阀关闭梁(4)绕所述枢转轴线(10)枢转；以及至少一个驱动机构(13)，所述至少一个驱动机构结合至所述轴杆(11)以便使所述轴杆(11)旋转，从而使所述阀关闭梁(4)在所述开启位置(O)与所述关闭位置(C)之间运动；其中：所述枢转支承件由至少三个特别是至少五个支承元件(27)形成，所述支承元件(27)在所述阀壳体(14)中沿着所述轴杆轴线(12)和所述枢转轴线(10)彼此相距一定距离地分布；所述阀关闭梁(4)在所述支承元件(27)上安装成能绕公共的所述枢转轴线(10)枢转，其中所述枢转轴线(10)位于所述第一开口(1)侧，特别是靠近所述第一密封表面(3)的平面(28)，特别是大致位于所述第一密封表面(3)的所述平面(28)上；所述轴杆(11)安装在所述支承元件(27)中的至少一些支承元件上；所述轴杆轴线(12)在与所述第一密封表面(3)的所述平面(28)成直角的方向上与所述枢转轴线(10)相距一定距离；所述支承元件(27)均具有至少一个相关联的第一臂(29)，所述第一臂(29)在所述轴杆(11)上设置成和所述轴杆(11)一起旋转；并且各个所述第一臂(29)在其自由端处直接地或间接地与所述阀关闭梁(4)的背面(7)接合，从而通过所述轴杆(11)的旋转并因此通过所述第一臂(29)绕所述轴杆轴线(12)的枢转，能向所述阀关闭梁(4)的所述背面(7)施加力，以便使所述阀关闭梁(4)绕所述枢转轴线(10)在所述开启位置(O)与所述关闭位置(C)之间枢转。