[发明专利]数字半导体器件的测试装置及方法

摘要

本发明公开了一种数字半导体器件的测试装置及方法，测试装置包括时序发生器模块、算法向量发生器模块、可编程数据选择器模块和测试模组，测试模组包括逻辑测试模块，波形格式控制器模块，管脚电路模块和数字比较模块，逻辑测试模块接收主时钟信号和第一测试向量，同时向波形格式控制器模块发送第二测试向量，在测试开始之前，将第一测试向量传输到所述逻辑测试模块中并存储，测试开始时，逻辑测试模块挑选存储的第一测试向量，组成第二测试向量，并传送到所述波形格式控制器模块。本发明对现有存储器测试仪功能进行了强化，使其不仅具备原有强大的存储器测试功能，并且兼具复杂逻辑器件测试的能力，同时极高的同测能力也是现有的逻辑测试仪所无法企及的，有效地降低了测试成本，节省了测试时间。

主权项

一种数字半导体器件的测试装置，其特征在于，包括：时序发生器模块，产生主时钟信号；算法向量发生器模块，用于存放测试向量信息，当需要输出波形至待测器件时，算法向量发生器模块会根据时序发生器模块发送的主时钟信号输出第一测试向量至可编程数据选择器模块中，通过所述可编程数据选择器模块内部开关的切换，将第一测试向量传输到每个测试模组资源中；可编程数据选择器模块，接收所述算法向量发生器模块输出的第一测试向量，通过内部开关的切换，将第一测试向量传输到测试模组资源中；测试模组，包括逻辑测试模块，波形格式控制器模块，管脚电路模块和数字比较模块，其中：逻辑测试模块，接收主时钟信号和所述算法向量发生器模块通过可编程数据选择器模块向测试模组发出的第一测试向量，同时向所述波形格式控制器模块发送第二测试向量，在测试开始之前，所述算法向量发生器模块通过所述可编程数据选择器模块将第一测试向量传输到所述逻辑测试模块中并存储，传送完毕后，逻辑测试模块中就存放了需要用于测试的所有向量信息，测试开始时，所述时序发生器模块发送主时钟信号到所述测试逻辑模块，同时发送时钟信号到所述波形格式控制器模块，所述逻辑测试模块挑选存储的第一测试向量，组成第二测试向量，并根据主时钟信号同步传送第二测试向量到所述波形格式控制器模块；波形格式控制器模块，接收所述可编程数据选择器模块发来的第一测试向量或所述逻辑测试模块发来的第二测试向量，以及时钟信号，结合所述第一测试向量或及波形格式生成测试需要的波形；管脚电路模块，接收所述波形格式控制器模块的输出波形，将输出波形进行一定电压幅度调整后，输出至待测器件的引脚上，并且接收待测器件反馈回来的信号，所述管脚电路模块上还设置有一个用来判断“0”信号和“1”信号的参考电压，在管脚电路模块的比较器中将反馈回来的信号与所述参考电压进行比较以判断反馈回来的信号是“0”还是“1”，并将比较的结果输出；数字比较模块，接收所述波形格式控制器模块的输出波形以及管脚电路模块比较的结果，将二者进行对比，以判断待测器件的输出响应和测试向量的期待值是否一致，来决定功能测试结果的PASS/FAIL。