[发明专利]一种扫描热显微镜微型热电偶探针的制备方法无效
| 申请号： | 201010606034.7 | 申请日： | 2010-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN102175894A | 公开（公告）日： | 2011-09-07 |
| 发明（设计）人： | 陈清;高崧;李思然 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | G01Q60/58 | 分类号： | G01Q60/58 |
| 代理公司： | 北京君尚知识产权代理事务所(普通合伙) 11200 | 代理人： | 余功勋 |
| 地址： | 100871 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种扫描热显微镜微型热电偶探针的制备方法，属于纳米加工、纳米尺度性能测量和电子科学技术领域。所述扫描热显微镜微型热电偶探针的制备方法包括：a)在AFM悬臂针尖的正面制作第一金属层；b)在所述第一金属层上制作绝缘层；c)除去针尖的尖端上设定区域的绝缘层；d)在所述绝缘层上制作第二金属层，所述第二金属层在所述设定区域内和所述第一金属层接触，所述第二金属层和所述第一金属层的材料组成不同。本发明可用于纳米加工、纳米尺度性能测量等技术领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扫描 显微镜 微型 热电偶 探针 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种扫描热显微镜微型热电偶探针的制备方法，包括：a)在AFM悬臂针尖的正面制作第一金属层；b)在所述第一金属层上制作绝缘层；c)除去针尖的尖端上设定区域的绝缘层；d)在所述绝缘层上制作第二金属层，所述第二金属层在所述设定区域内和所述第一金属层接触，所述第二金属层和所述第一金属层的材料组成不同。
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