[发明专利]用于气相沉积系统中基板检测的主动观察端口检测组件有效
| 申请号： | 201010604157.7 | 申请日： | 2010-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN102154623A | 公开（公告）日： | 2011-08-17 |
| 发明（设计）人： | R·W·布莱克;M·J·帕沃尔 | 申请（专利权）人： | 初星太阳能公司 |
| 主分类号： | C23C14/52 | 分类号： | C23C14/52;C23C14/56;C23C16/54;H01L21/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 陈江雄;谭祐祥 |
| 地址： | 美国科*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及用于气相沉积系统中基板检测的主动观察端口检测组件，这种用于检测经过真空沉积系统(10)输送的基板(14)的主动观察端口组件(100)包括壳体(102)，壳体(102)被配置成安装到气相沉积模块(16，20，22，28，30)的壁(104，106)上。该壳体还包括封闭腔室(108)、外侧端口(110)和内侧端口(112)。透镜组件(114)安置于所述腔室内且延伸穿过所述内侧端口。加热器元件(116)配置于腔室内的透镜组件上。主动发送器(118)或主动信号接收器(118)之一被配置于所述腔室外部的所述外侧端口，且与所述透镜组件在轴向对准并间隔开。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 沉积 系统 中基板 检测 主动 观察 端口 组件 | ||
【主权项】：
一种用于检测经过真空沉积系统(10)输送的基板(14)的主动观察端口组件(100)，所述观察端口组件包括：壳体(102)，其被配置成安装到气相沉积模块(16，20，22，28，30)的壁(104)上，所述壳体还包括封闭腔室(108)、外侧端口(110)、和内侧端口(112)；透镜组件(114)，其安置于所述腔室内且延伸穿过所述内侧端口；加热器元件(116)，其被配置于所述腔室内的所述透镜组件上；以及主动发送器(118)或主动信号接收器(118)之一，其配置于所述腔室外部的所述外侧端口，所述发送器或接收器与所述透镜组件在轴向对准并间隔开。
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