[发明专利]用于气相沉积系统中基板检测的主动观察端口检测组件

权利要求书

1.一种用于检测经过真空沉积系统(10)输送的基板(14)的主动观察端口组件(100)，所述观察端口组件包括：

壳体(102)，其被配置成安装到气相沉积模块(16，20，22，28，30)的壁(104)上，所述壳体还包括封闭腔室(108)、外侧端口(110)、和内侧端口(112)；

透镜组件(114)，其安置于所述腔室内且延伸穿过所述内侧端口；

加热器元件(116)，其被配置于所述腔室内的所述透镜组件上；以及

主动发送器(118)或主动信号接收器(118)之一，其配置于所述腔室外部的所述外侧端口，所述发送器或接收器与所述透镜组件在轴向对准并间隔开。

2.根据权利要求1所述的观察端口组件(100)，其中所述透镜组件(114)包括管(122)和安置于所述管内所述腔室(108)内位置处的透镜(124)，所述加热器元件(116)同心地安置于所述管周围以便环绕所述透镜，且还包括安置于所述管与所述内侧端口(112)之间的弹性体密封件(130)，所述密封件与所述加热器间隔开足以防止对所述密封件造成热损坏的距离。

3.根据权利要求1所述的观察端口组件(100)，其中所述内侧端口(112)的轴向长度足以延伸穿过安装所述观察端口组件的气相沉积模块的壁(104)，所述透镜组件(114)包括安置于所述内侧端口(112)的管(122)和安置于所述管内以便在所述腔室(108)内的位置的透镜(124)。

4.根据权利要求1所述的观察端口组件(100)，其还包括与所述腔室(108)连通的泄漏检查端口(134)。

5.根据权利要求1所述的观察端口组件(100)，其中所述透镜组件(114)相对于所述壳体(102)以非水平角度安置以便接收或发送非水平信号，所述非水平信号通过安装所述观察端口组件的气相沉积模块(16，20，22，28，30)发送，其穿过经过气相沉积模块输送的基板(14)的水平面。

6.一种用于气相沉积系统(10)中的模块(16，20，22，28，30)，其中基板(14)被输送经过所述模块，所述模块包括；

外壳，所述外壳包括第一壁和第二壁(106)；

内部输送机(48)，其在所述外壳内且被配置成运输基板经过所述外壳；

第一观察端口组件(100)，其安装于所述第一壁上，所述第一观察端口组件根据权利要求1至5中任一项所述。

7.根据权利要求6所述的模块(16，20，22，28，30)，其还包括安装到所述第二壁(106)上的第二观察端口组件(100)，所述第二观察端口组件根据权利要求1至5中任一项所述。

8.根据权利要求6所述的模块(16，20，22，28，30)，其中所述第一观察端口组件和第二观察端口组件(100)相对于所述第一壁和第二壁安置于非水平面中，使得所述主动信号穿过所述外壳内所述输送机(48)的水平面。

9.根据权利要求8所述的模块(16，20，22，28，30)，其中所述输送机(48)包括多个间隔开的滚筒(48)，所述第一观察端口组件和第二观察端口组件(100)安置成使得所述主动信号在相邻的所述滚筒之间穿过所述输送机。