[发明专利]一种基片承载装置及应用该装置的基片处理设备有效
| 申请号： | 201010603749.7 | 申请日： | 2010-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN102560636A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 徐亚伟;张秀川 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | C30B25/12 | 分类号： | C30B25/12 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 张天舒;陈源 |
| 地址： | 100015 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基片承载装置，用于承载基片，其包括至少一个托盘，并且各托盘均具有两个相反的用于承载所述基片的盘面。在应用本发明提供的基片承载装置进行工艺时，与目前常用的同等尺寸的基片承载装置相比，可承载更多的基片，从而能够有效提高设备产能及工艺气体利用率。此外，本发明还提供一种应用上述基片承载装置的基片处理设备。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 承载 装置 应用 处理 设备 | ||
【主权项】：
一种基片承载装置，用于承载基片，其特征在于，包括至少一个托盘，所述托盘具有两个相反的用于承载所述基片的盘面。
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