[发明专利]信息处理装置及其处理方法和半导体制造系统

摘要

本发明提供一种信息处理装置(100)，处理作为关于对包含半导体的处理对象物进行与作为设定处理条件的值的设定值相应的处理的半导体制造装置(200)的处理时状态取得的值的取得值，包括：接受设定值的设定值接受部(101)、接受取得值的状态值接受部(102)、与作为表示设定值和取得值关系的函数的校正函数相应地算出取得值的校正量的校正量算出部(103)、利用校正量算出部(103)算出的校正量校正状态值接受部(102)接受的取得值的校正部(104)、和输出校正部(104)已校正的结果的输出部(105)。能够解决现有的信息处理装置中关于用不同的设定值进行的处理，难以容易地监视从各个半导体制造装置取得的值的问题。

主权项

一种信息处理装置，该信息处理装置处理作为关于对包含半导体的处理对象物进行处理的半导体制造装置的处理时状态的值的状态值，其特征在于，包括：接受所述状态值的状态值接受部；能够存储作为成为所述状态值的基准的值的基准值的基准值存储部；能够存储作为用于判断所述状态值是否是所要值的值的阈值的阈值存储部；算出关于状态值接受部接受的所述状态值和所述基准值之差的值与关于所述阈值和所述基准值之差的值之比的算出部；和输出所述算出部已算出的比的输出部。