[发明专利]电压控制变容器结构及其制备方法无效
| 申请号： | 201010598662.5 | 申请日： | 2010-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN102544121A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 金勤海;王星杰;张力 | 申请（专利权）人： | 上海华虹NEC电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/94 | 分类号： | H01L29/94;H01L21/334 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 丁纪铁 |
| 地址： | 201206 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电压控制变容器结构，其为在所述变容器的衬底上至少具有一个沟槽，所述沟槽侧壁和底部以及衬底表面覆盖有氧化硅，所述沟槽内和位于所述沟槽两侧的衬底上设有由多晶硅构成的“T”字结构，所述衬底连接金属形成所述变容器的一个电极，所述多晶硅连接金属形成所述变容器的另一个电极。 | ||
| 搜索关键词： | 电压 控制 容器 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种电压控制变容器结构，其特征在于：在所述变容器的衬底上至少具有一个沟槽，所述沟槽侧壁和底部以及衬底表面覆盖有氧化硅，所述沟槽内和位于所述沟槽两侧的衬底上设有由多晶硅构成的“T”字结构，所述衬底连接金属形成所述变容器的一个电极，所述多晶硅连接金属形成所述变容器的另一个电极。
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