[发明专利]高纯液化气体的电热输送装置及其输送方法

摘要

本发明公开了一种高纯液化气体的电热输送装置及其输送方法，所述装置包括通过管道相连的钢瓶和蒸发器，其中，所述蒸发器底部设置有电加热装置，所述电加热装置包括热电偶和数字温控仪表，所述数字温控仪表设置有高温熔断装置，所述蒸发器的入口处设置有介质进口阀门，出口处设置有介质出口阀门。本发明提供的高纯液化气体的电热输送装置及其输送方法，通过在蒸发器底部设置有电加热装置，将液化气体引出钢瓶，使用电热方式加热外接的蒸发器，使蒸发器内部的液化气体汽化、纯化后送至使用端，从而有效地保证了输出气体的大流量、高纯度和系统的安全、稳定性。

主权项

一种高纯液化气体的输送方法，其特征在于，所述方法依次包括如下步骤：将液化气体引出钢瓶，使其进入外接的蒸发器（1）；使用电加热装置（3）加热蒸发器（1），使蒸发器内部的液化气体在被汽化的同时得到纯化，再将高纯气体输送至使用端。