[发明专利]高纯液化气体的电热输送装置及其输送方法

权利要求书

1.一种高纯液化气体的输送方法，其特征在于，所述方法依次包括如下步骤：

将液化气体引出钢瓶，使其进入外接的蒸发器（1）；

使用电加热装置（3）加热蒸发器（1），使蒸发器内部的液化气体在被汽化的同时得到纯化，再将高纯气体输送至使用端。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述蒸发器（1）为带电加热装置（3）的压力容器，液化气体由蒸发器（1）底部入口进入，经过电加热后汽化，由蒸发器（1）上部出口流出。

3.一种实现权利要求1所述输送方法的电热输送装置，包括通过管道相连的钢瓶和蒸发器（1），其特征在于，所述蒸发器（1）底部设置有电加热装置（3），所述电加热装置包括热电偶（12）和数字温控仪表（11），所述数字温控仪表（11）设置有高温熔断装置（14），所述蒸发器（1）的入口处设置有介质进口阀门（5），出口处设置有介质出口阀门（6）。

4.如权利要求3所述的高纯液化气体的电热输送装置，其特征在于，所述热电偶为翅片形状，表面设置有氟塑料涂层（13）。

5.如权利要求3所述的高纯液化气体的电热输送装置，其特征在于，所述蒸发器（1）的入口处设置有旁通阀门（8），出口处设置有安全泄压阀门（9）。

6.如权利要求3所述的高纯液化气体的电热输送装置，其特征在于，所述蒸发器（1）置于抽风柜（4）内部。

7.如权利要求3～6任一项所述的电热输送装置，其特征在于，所述蒸发器（1）外壳为表面经电解抛光处理的不锈钢316L材质。