[发明专利]抛光液加热装置，抛光液温度控制设备和抛光液输送系统无效
| 申请号： | 201010594263.1 | 申请日： | 2010-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN102175064A | 公开（公告）日： | 2011-09-07 |
| 发明（设计）人： | 路新春;潘燕;沈攀;何永勇 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | F24H7/02 | 分类号： | F24H7/02;F24H9/20;B65D25/38;B65D81/18 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 宋合成 |
| 地址： | 100084 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种抛光液加热装置，所述抛光液加热装置包括加热容器，所述加热容器内限定有容纳腔，所述容纳腔内盛装有热交换液体；发热元件，所述发热元件设置在所述容纳腔内用于对所述热交换液体加热；和抛光液换热管，所述抛光液换热管具有入口端和出口端，所述抛光液换热管盘绕在所述容纳腔内且所述抛光液换热管的入口端和出口端分别从所述加热容器内伸出。本发明还公开了包括所述抛光液加热装置的抛光液温度控制设备和抛光液输送系统。通过利用包括本发明的抛光液加热装置的抛光液温度控制设备和抛光液输送系统，可以向化学机械抛光工序提供所需温度的抛光液，从而提高抛光效果。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 加热 装置 温度 控制 设备 输送 系统 | ||
【主权项】：
一种抛光液加热装置，其特征在于，包括：加热容器，所述加热容器内限定有容纳腔，所述容纳腔内盛装有热交换液体；发热元件，所述发热元件设置在所述容纳腔内用于对所述热交换液体加热；和抛光液换热管，所述抛光液换热管具有入口端和出口端，所述抛光液换热管盘绕在所述容纳腔内且所述抛光液换热管的入口端和出口端分别从所述加热容器内伸出。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于清华大学，未经清华大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201010594263.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：射击枪械的高准确度非指动扣动扳机装置
- 下一篇：一种粘土浆固化剂
