[发明专利]抛光液加热装置，抛光液温度控制设备和抛光液输送系统

权利要求书

1.一种抛光液加热装置，其特征在于，包括：

加热容器，所述加热容器内限定有容纳腔，所述容纳腔内盛装有热交换液体；

发热元件，所述发热元件设置在所述容纳腔内用于对所述热交换液体加热；和

抛光液换热管，所述抛光液换热管具有入口端和出口端，所述抛光液换热管盘绕在所述容纳腔内且所述抛光液换热管的入口端和出口端分别从所述加热容器内伸出。

2.根据权利要求1所述的抛光液加热装置，其特征在于，所述抛光液换热管在所述容纳腔内盘绕成波纹状或涡旋状。

3.根据权利要求1所述的抛光液加热装置，其特征在于，所述抛光液换热管在所述容纳腔内盘绕成多层。

4.根据权利要求1所述的抛光液加热装置，其特征在于，所述加热容器为封闭加热容器，且所述发热元件设置在容纳腔的底部。

5.根据权利要求4所述的抛光液加热装置，其特征在于，所述加热容器为平行六面体形状，其中所述抛光液换热管的入口端和出口端从所述加热容器的相对两侧伸出，且所述抛光液换热管的出口端在上下方向上高于所述抛光液换热管的入口端。

6.根据权利要求1所述的抛光液加热装置，其特征在于，所述热交换液体为去离子水。

7.根据权利要求1所述的抛光液加热装置，其特征在于，所述抛光液换热管为四氟乙烯-全氟烷氧基乙烯基醚共聚物管或者聚四氟乙烯管。

8.一种抛光液温度控制设备，其特征在于，包括：

抛光液加热装置，所述抛光液加热装置为根据权利要求1-7中任一项所述的抛光液加热装置；

温度检测元件，所述温度检测元件设置在所述抛光液换热管路的出口端用于检测所述抛光液换热管内的抛光液的温度；和

温度控制器，所述温度控制器与所述温度检测元件和发热元件电连接并根据所述温度检测元件检测的抛光液温度控制所述发热元件以调节所述抛光液的温度。

9.一种抛光液输送系统，其特征在于，包括：

抛光液储存容器；

抛光液输送管，所述抛光液输送管的进液端与所述抛光液储存容器相连以将所述抛光液储存容器内的抛光液从所述抛光液输送管的出液端排出；和

抛光液温度控制设备，所述抛光液温度控制设备为根据权利要求8所述的抛光液温度控制设备，其中所述抛光液加热装置的抛光液换热管连接在所述抛光液输送管中。

10.根据权利要求9所述的抛光液输送系统，其特征在于，所述抛光液温度控制设备邻近所述抛光液输送管的出液端。