[发明专利]表面检查装置

摘要

一种表面检查装置，其包括检测装置，该检测装置利用检查光扫描被检查物的表面，并输出与所述表面的反射光的强度相对应的信号。该表面检查装置基于检测装置的输出信号来生成该被检查物的表面的二维图像，将尺寸大于预定值的缺陷候选区域确定为缺陷，在二维图像中逐个检查预定检查部分，并将检查部分中的尺寸小于预定值的缺陷候选区域的密度超过预定级的检查部分确定为缺陷部分。使用另一表面检查装置来基于密度值判断在与筒状被检查物的表面对应的二维图像中是否存在任何缺陷。将要呈现在二维图像中的加工部的图像保存为基准图像。保存加工部的图像在轴向上的位置和该加工部的图像在周向上的数量。确定二维图像中要从缺陷判别对象中排除的部分，并且基于该确定的部分之外的像素的密度值来判断是否存在任何缺陷。

主权项

一种表面检查装置，其获取将被检查物的圆筒形表面以平面方式展开的二维图像，并基于该二维图像中像素的密度值来判别所述表面上是否存在缺陷，所述表面检查装置包括：基准图像存储装置，其将与所述表面上存在的加工部相对应的将在所述二维图像上出现的加工部的图像存储为针对至少在形状或者尺寸上不同的各加工部的独立基准图像，并以与各基准图像相关联的方式存储各加工部的各图像在与所述表面的轴向相当的轴相当方向上的位置以及应当在与所述表面的周向相当的周相当方向上存在的相同加工部的各图像的数量；以及缺陷判别装置，其基于各基准图像以及与各基准图像相关的所述位置和所述数量来确定要从所述二维图像上的缺陷判别对象中排除的区域，并基于确定的区域之外的像素的密度值来判别是否存在所述缺陷。