[发明专利]表面检查装置

权利要求书

1.一种表面检查装置，其获取将被检查物的圆筒形表面以平面方式展开的二维图像，并基于该二维图像中像素的密度值来判别所述表面上是否存在缺陷，所述表面检查装置包括：

基准图像存储装置，其将与所述表面上存在的加工部相对应的将在所述二维图像上出现的加工部的图像存储为针对至少在形状或者尺寸上不同的各加工部的独立基准图像，并以与各基准图像相关联的方式存储各加工部的各图像在与所述表面的轴向相当的轴相当方向上的位置以及应当在与所述表面的周向相当的周相当方向上存在的相同加工部的各图像的数量；以及

缺陷判别装置，其基于各基准图像以及与各基准图像相关的所述位置和所述数量来确定要从所述二维图像上的缺陷判别对象中排除的区域，并基于确定的区域之外的像素的密度值来判别是否存在所述缺陷。

2.根据权利要求1所述的表面检查装置，其中，所述缺陷判别装置包括排除区域确定装置，该排除区域确定装置参照与所述基准图像相关的位置，将所述二维图像上要与所述基准图像相比较的区域缩窄到所述二维图像在所述轴相当方向上的部分，比较所述基准图像的像素密度值和所述二维图像在缩窄区域中的像素密度值，并基于该比较结果将数量上等于与所述基准图像相关的数量的区域确定为要从所述缺陷判别对象中排除的区域。

3.根据权利要求2所述的表面检查装置，其中，所述排除区域确定装置通过相对于所述二维图像沿所述周相当方向顺序改变所述基准图像在所述缩窄区域中的位置来判别所述基准图像与所述二维图像上的具有与所述基准图像相同的形状和尺寸的检查对象图像之间的一致度，并且，当所判别的一致度超过预定阈值级时，所述排除区域确定装置将所述检查对象图像的区域确定为要从所述缺陷判别对象中排除的区域。

4.根据权利要求3所述的表面检查装置，其中，所述一致度是通过对所述基准图像与所述检查对象图像之间的相关性进行归一化来计算的。

5.根据权利要求1到4中任何一项所述的表面检查装置，其中，所述基准图像对应于通过从所述二维图像中提取包围单个加工部的图像所需的最小矩形区域而获得的图像。