[发明专利]一种用于多晶硅定向凝固的水冷装置无效
申请号: | 201010589296.7 | 申请日: | 2010-12-15 |
公开(公告)号: | CN102071455A | 公开(公告)日: | 2011-05-25 |
发明(设计)人: | 黄锋;陈瑞润;李新中;丁宏升;苏彦庆;郭景杰;傅恒志 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨工业大学 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人: | 杨立超 |
地址: | 150001 黑龙*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | 一种用于多晶硅定向凝固的水冷装置。一种水冷装置,具体涉及一种用于多晶硅定向凝固的水冷装置。本发明为了解决在定向凝固多晶硅时,现有装置预热不佳、轴向传热不好,传热速率不均匀而造成硅锭断裂的问题。本发明包括石墨预热器和两根水管,还包括水冷底座主体,所述水冷底座主体的上端面中部开有连接凹槽,所述水冷底座主体的下部开有方框状水循环通道,且方框状水循环通道位于连接凹槽的下方,两根水管并排设置在水冷底座主体的下端面上,且每根水管均与方框状水循环通道连通,所述石墨预热器的底部插装在连接凹槽内。本发明安装在定向凝固装置内,用于定向凝固多晶硅。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 多晶 定向 凝固 水冷 装置 | ||
【主权项】:
一种用于多晶硅定向凝固的水冷装置,它包括石墨预热器(1)和两根水管(2),其特征在于:所述一种用于多晶硅定向凝固的水冷装置还包括水冷底座主体(3),所述水冷底座主体(3)的上端面中部开有连接凹槽(3‑1),所述水冷底座主体(3)的下部开有方框状水循环通道(3‑2),且方框状水循环通道(3‑2)位于连接凹槽(3‑1)的下方,两根水管(2)并排设置在水冷底座主体(3)的下端面上,且每根水管(2)均与方框状水循环通道(3‑2)连通,所述石墨预热器(1)的底部插装在连接凹槽(3‑1)内。
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