[发明专利]一种用于多晶硅定向凝固的水冷装置无效
| 申请号: | 201010589296.7 | 申请日: | 2010-12-15 |
| 公开(公告)号: | CN102071455A | 公开(公告)日: | 2011-05-25 |
| 发明(设计)人: | 黄锋;陈瑞润;李新中;丁宏升;苏彦庆;郭景杰;傅恒志 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司: | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人: | 杨立超 |
| 地址: | 150001 黑龙*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 用于 多晶 定向 凝固 水冷 装置 | ||
1.一种用于多晶硅定向凝固的水冷装置,它包括石墨预热器(1)和两根水管(2),其特征在于:所述一种用于多晶硅定向凝固的水冷装置还包括水冷底座主体(3),所述水冷底座主体(3)的上端面中部开有连接凹槽(3-1),所述水冷底座主体(3)的下部开有方框状水循环通道(3-2),且方框状水循环通道(3-2)位于连接凹槽(3-1)的下方,两根水管(2)并排设置在水冷底座主体(3)的下端面上,且每根水管(2)均与方框状水循环通道(3-2)连通,所述石墨预热器(1)的底部插装在连接凹槽(3-1)内。
2.根据权利要求1所述一种用于多晶硅定向凝固的水冷装置,其特征在于:所述石墨预热器(1)与连接凹槽(3-1)之间有一层液态金属层(4)。
3.根据权利要求1或2所述一种用于多晶硅定向凝固的水冷装置,其特征在于:所述石墨预热器(1)的底部与连接凹槽(3-1)通过螺纹连接。
4.根据权利要求1所述一种用于多晶硅定向凝固的水冷装置,其特征在于:所述方框状水循环通道(3-2)的内径(d)为10mm-15mm。
5.根据权利要求1所述一种用于多晶硅定向凝固的水冷装置,其特征在于:所述方框状水循环通道(3-2)的侧壁距离水冷底座主体(3)外侧壁的距离(L)为5mm-10mm。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于哈尔滨工业大学,未经哈尔滨工业大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201010589296.7/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。





