[发明专利]制造压印模的方法和使用压印模形成图案的方法有效
| 申请号： | 201010583298.5 | 申请日： | 2010-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN102096314A | 公开（公告）日： | 2011-06-15 |
| 发明（设计）人： | 张斗熙;权当;赵恒燮;金淏洙 | 申请（专利权）人： | 乐金显示有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;张旭东 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及制造压印模的方法和使用压印模来形成图案的方法。公开了一种制造压印模的方法。该方法包括以下工序：在基板上形成第一光刻胶图案；使用第一光刻胶图案作为刻蚀掩模来刻蚀基板，以在基板中形成第一图案；对第一光刻胶图案进行灰化以形成第二光刻胶图案；以及使用第二光刻胶图案来刻蚀基板以形成从基板得到的第二图案和从第一图案得到的第三图案。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 压印 方法 使用 形成 图案 | ||
【主权项】：
一种制造压印模的方法，该方法包括以下工序：在基板上形成第一光刻胶图案；使用所述第一光刻胶图案作为刻蚀掩模来刻蚀所述基板，以在所述基板中形成第一图案；对所述第一光刻胶图案进行灰化以形成第二光刻胶图案；以及使用所述第二光刻胶图案来刻蚀所述基板，以形成从所述基板得到的第二图案和从所述第一图案得到的第三图案。
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