[发明专利]高比表面二氧化钛薄膜的制备方法无效
| 申请号： | 201010577620.3 | 申请日： | 2010-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN102041477A | 公开（公告）日： | 2011-05-04 |
| 发明（设计）人： | 吴韬;方燕翎;王琦;丁靓 | 申请（专利权）人： | 吴韬 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/34 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 张法高 |
| 地址： | 310027 浙江省杭州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种高比表面二氧化钛薄膜的制备方法。采用的是物理气相沉积法，在清洁后的基材上通过叠层溅射镀膜的方式分别制备了锌与二氧化钛的叠层复合膜、氧化锌与二氧化钛的叠层复合膜，另用靶材混镀的方法制备了氧化锌与二氧化钛相互掺杂的共混复合膜；将上述方式制备的复合膜通过不同方式的酸处理，得到具有高比表面的二氧化钛薄膜。本发明制备工艺高度可控，制得的二氧化钛膜比表面积大、分布均匀、厚度可调、附着力强，在大规模工业化生产中容易控制产品的质量，降低综合生产成本；利用上述制备方法可在一定程度上调控材料的氧化还原性，在太阳能电池、生物、光学催化等领域有广泛应用。 | ||
| 搜索关键词： | 比表面 氧化 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种高比表面二氧化钛薄膜的制备方法，其特征在于它的步骤如下：1)超声波条件下依次用有机溶剂和去离子水清洗基材，干燥；2)基材用筛网遮挡，放入溅射反应室中，抽真空，加热，先以金属锌为靶材，通入工作气，压强控制在0.5～2.0Pa，在基材上溅射生长单质锌薄膜；然后将筛网去除，以金属钛为靶材，通入反应气体，压强控制在0.5～2.0Pa，在单质锌薄膜上溅射生长氧化钛薄膜，以此交替重复多次，得到单质锌和氧化钛的叠层复合膜；3)将单质锌和氧化钛的叠层复合膜在1×10‑6～1×10‑1mol/L酸液中浸泡，干燥，得到高比表面的二氧化钛薄膜。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于吴韬，未经吴韬许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201010577620.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：双效真空浓缩器
- 下一篇：一种2-氯-5-氯甲基噻唑的循环式节能蒸发釜
- 同类专利
- 专利分类
